公开(公告)号：CN117615579A

公开(公告)日：2024-02-27

申请号：CN202311429465.4

申请日：2023-10-31

Applicant: 中国电子科技集团公司第三十四研究所 ,  桂林电子科技大学

Inventor： 李跃 ,  谢仕锋 ,  韦春树 ,  刘兴鹏 ,  杨万里 ,  尹思杰

IPC: H10B53/30

Abstract: 本发明涉及微电子存储器技术领域，具体涉及一种无铅BaTiO3铁电存储器及其制备方法，包括使用丙酮、无水乙醇和去离子水依次对SrTiO3衬底超声清洗后吹干；将吹干后的SrTiO3衬底放入预设温度的脉冲激光沉积系统腔室，并通入氧气，使用La0.65Sr0.35MnO3缓冲层制备得到薄膜；对所述薄膜进行原位退火后降温取出；遮住部分所述薄膜，再次送入脉冲激光沉积系统腔室，使用1.1％wt Nb：SrTiO3制备得到底电极层；对所述底电极层通入氧气使用BaTiO3制备得到BaTiO3铁电功能氧化物层；对所述BaTiO3铁电功能氧化物层进行原位退火后降温取出；将取出的BaTiO3铁电功能氧化物层使用lift‑off工艺以及射频磁控溅射生长Pt上电极层，得到无铅BaTiO3铁电存储器，解决了现有的闪存的浮栅电容数据的读取具有破坏性的问题。

公开(公告)号：CN117241590A

公开(公告)日：2023-12-15

申请号：CN202311191610.X

申请日：2023-09-15

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 刘兴鹏 ,  韦春树 ,  李海鸥 ,  孙堂友 ,  陈永和 ,  傅涛 ,  肖功利 ,  张法碧 ,  李琦

IPC: H10B53/30 ,  H10N97/00

Abstract: 本发明属于微电子存储器技术领域，公开了一种基于柔性衬底的铁电存储器及其制备方法，铁电存储器包括云母基底层、缓冲层、底电极层、BaTiO3铁电功能氧化物层和Pt上电极层；其制备方法包括：S1、去除云母表面杂质，等待生长薄膜；S2～S3、制备缓冲层；S4、原位退火；S5～S7、制备底电极层和BaTiO3铁电功能氧化物层；S8、原位退火；S9、制备Pt上电极层。本发明利用云母作为基底材料、SrTiO3和La0.65Sr0.35MnO3作为缓冲层、1.1％Nb掺杂的SrTiO3作为底电极、BaTiO3作为铁电功能氧化物、Pt金属作为上电极，形成多层叠堆结构，使其能够在柔性设备中实现高性能的数据存储和读取功能，同时保持对弯曲和形变的适应性。