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公开(公告)号：CN107924814A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680048915.7
申请日：2016-10-25
Applicant: 株式会社LG化学
CPC classification number: C30B9/10 , C30B9/06 , C30B19/04 , C30B29/36 , H01L21/02 , H01L21/02378 , H01L21/02529 , H01L21/02625 , H01L21/02628
Abstract: 本发明涉及通过溶液法形成SiC单晶的基于硅的熔融组合物，所述组合物包含硅、碳、和金属，所述金属对于由以下式(1)定义的溶解度参数(Csisol)满足0.70≤Csisol≤1.510：Csisol＝A-B+μ1-μ2式(1)，其中在上述式中，A是包含金属和碳的硅晶格中的包含硅原子、碳原子和金属原子的第一评估晶格的第一能量(A)；B是包含金属原子的硅晶格中的包含硅原子和金属原子的第二评估晶格的第二能量(B)；μ1是作为常数值的-5.422，其是通过具有金刚石晶体结构的硅的总能量除以单元晶格中存在的硅原子的数目而获得的化学势；并且μ2是作为常数值的-9.097，其是通过具有金刚石晶体结构的碳的总能量除以单元晶格中存在的碳原子的数目而获得的化学势。
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公开(公告)号：CN107683520A
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201680031312.6
申请日：2016-10-25
Applicant: 株式会社LG化学
Abstract: 本发明涉及一种基于硅的熔融组合物以用于通过溶液法形成SiC单晶，所述组合物包含硅、碳和由以下式(1)定义的溶解度参数(Csisol)小于-0.37的金属：式(1)，其中在上述式(1)中，A为在包含金属和碳的硅晶格中包含硅原子、碳原子和金属原子的第一评估晶格的第一能量(A)，B为在包含金属的硅晶格中包含硅原子和金属原子的第二评估晶格的第二能量(B)，μ1为作为通过将金刚石晶体结构中硅的总能量除以单元晶格中存在的硅原子数获得的化学势的常数-5.422，μ2为作为通过将金刚石晶体结构中碳的总能量除以单元晶格中存在的碳原子数获得的化学势的常数-9.097。
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公开(公告)号：CN107924814B
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN201680048915.7
申请日：2016-10-25
Applicant: 株式会社LG化学
Abstract: 本发明涉及通过溶液法形成SiC单晶的基于硅的熔融组合物，所述组合物包含硅、碳、和金属，所述金属对于由以下式(1)定义的溶解度参数(Csisol)满足0.70≤Csisol≤1.510：Csisol＝A‑B+μ1‑μ2式(1)，其中在上述式中，A是包含金属和碳的硅晶格中的包含硅原子、碳原子和金属原子的第一评估晶格的第一能量(A)；B是包含金属原子的硅晶格中的包含硅原子和金属原子的第二评估晶格的第二能量(B)；μ1是作为常数值的‑5.422，其是通过具有金刚石晶体结构的硅的总能量除以单元晶格中存在的硅原子的数目而获得的化学势；并且μ2是作为常数值的‑9.097，其是通过具有金刚石晶体结构的碳的总能量除以单元晶格中存在的碳原子的数目而获得的化学势。
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公开(公告)号：CN107683520B
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN201680031312.6
申请日：2016-10-25
Applicant: 株式会社LG化学
Abstract: 本发明涉及一种基于硅的熔融组合物以用于通过溶液法形成SiC单晶，所述组合物包含硅、碳和由以下式(1)定义的溶解度参数(Csisol)小于‑0.37的金属：式(1)，其中在上述式(1)中，A为在包含金属和碳的硅晶格中包含硅原子、碳原子和金属原子的第一评估晶格的第一能量(A)，B为在包含金属的硅晶格中包含硅原子和金属原子的第二评估晶格的第二能量(B)，μ1为作为通过将金刚石晶体结构中硅的总能量除以单元晶格中存在的硅原子数获得的化学势的常数‑5.422，μ2为作为通过将金刚石晶体结构中碳的总能量除以单元晶格中存在的碳原子数获得的化学势的常数‑9.097。
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