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公开(公告)号:CN102884002B
公开(公告)日:2015-05-06
申请号:CN201180023381.X
申请日:2011-03-09
Applicant: 株式会社LG化学
CPC classification number: C09K3/1463 , B82Y30/00 , C01F17/0043 , C01F17/005 , C01P2002/60 , C01P2002/72 , C01P2004/03 , C01P2004/38 , C01P2004/39 , C01P2004/51 , C01P2004/52 , C01P2004/62 , C01P2004/64 , C09K3/1409 , Y10T428/2982
Abstract: 本发明涉及以一种简单、经济、和有效率的方式制备的晶体氧化铈,其晶体结构、形状,和尺寸可以被轻松地调节且其展示出优异的抛光性能,以及涉及它的制备方法。该晶体氧化铈可以被制备为亚微米级晶体氧化铈,其具有在预定范围内的平均体积直径和直径标准偏差。
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公开(公告)号:CN102161497B
公开(公告)日:2014-11-05
申请号:CN201110034606.3
申请日:2011-01-31
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C01F17/00
CPC classification number: C01F17/005 , B82Y30/00 , C01F17/0043 , C01P2004/03 , C01P2004/64 , Y10T428/2982
Abstract: 本发明涉及可提高碳酸铈的收益率或生产率,可制备具有均匀粒径的碳酸铈的碳酸铈制备方法、碳酸铈及利用该碳酸铈的氧化铈制备方法。所述碳酸铈的制备方法,包括如下步骤:混合铈前体和尿素;以及在无其他反应介质的状态下,将所述混合物的温度升高到50℃以上,并且在具有高分子分散剂的条件下,使所述铈前体与尿素反应。
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公开(公告)号:CN102161497A
公开(公告)日:2011-08-24
申请号:CN201110034606.3
申请日:2011-01-31
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C01F17/00
CPC classification number: C01F17/005 , B82Y30/00 , C01F17/0043 , C01P2004/03 , C01P2004/64 , Y10T428/2982
Abstract: 本发明涉及可提高碳酸铈的收益率或生产率,可制备具有均匀粒径的碳酸铈的碳酸铈制备方法、碳酸铈及利用该碳酸铈的氧化铈制备方法。所述碳酸铈的制备方法,包括如下步骤:混合铈前体和尿素;以及在无其他反应介质的状态下,将所述混合物的温度升高到50℃以上,并且在具有高分子分散剂的条件下,使所述铈前体与尿素反应。
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公开(公告)号:CN102596810A
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN201080042134.X
申请日:2010-08-18
Applicant: 株式会社LG化学
CPC classification number: C01F17/0043 , B82Y30/00 , C01F17/005 , C01P2002/60 , C01P2002/72 , C01P2004/03 , C01P2004/61 , C01P2004/64 , C04B35/6261 , C04B35/6263 , C04B35/62675 , C04B2235/3229 , C04B2235/442 , C04B2235/5454 , C04B2235/549 , C09K3/1409
Abstract: 本发明涉及一种碳酸铈类化合物的制备方法,其能够容易地调节该碳酸铈类化合物的晶体结构、尺寸、形状等,并且能够经济有效地制备该碳酸铈类化合物。该碳酸铈类化合物的制备方法包括在升温下使铈镧石反应制备包含正交晶系的碳酸氧铈水合物(Ce2O(CO3)2·H2O)或六方晶系的碳酸羟铈(Ce(OH)·(CO3))的碳酸铈类化合物的步骤。
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公开(公告)号:CN102596810B
公开(公告)日:2015-01-14
申请号:CN201080042134.X
申请日:2010-08-18
Applicant: 株式会社LG化学
CPC classification number: C01F17/0043 , B82Y30/00 , C01F17/005 , C01P2002/60 , C01P2002/72 , C01P2004/03 , C01P2004/61 , C01P2004/64 , C04B35/6261 , C04B35/6263 , C04B35/62675 , C04B2235/3229 , C04B2235/442 , C04B2235/5454 , C04B2235/549 , C09K3/1409
Abstract: 本发明涉及一种碳酸铈类化合物的制备方法,其能够容易地调节该碳酸铈类化合物的晶体结构、尺寸、形状等,并且能够经济有效地制备该碳酸铈类化合物。该碳酸铈类化合物的制备方法包括在升温下使铈镧石反应制备包含正交晶系的碳酸氧铈水合物(Ce2O(CO3)2·H2O)或六方晶系的碳酸羟铈(Ce(OH)·(CO3))的碳酸铈类化合物的步骤。
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公开(公告)号:CN102648265B
公开(公告)日:2014-12-10
申请号:CN201080056417.X
申请日:2010-10-13
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: H01L21/304
CPC classification number: H01L21/31053 , C09G1/02 , C09K3/1463
Abstract: 本发明涉及CMP浆料组合物,其包含:研磨颗粒;分散剂;离子聚合物添加剂;和非离子聚合物添加剂,该非离子聚合物添加剂包括含有两个或更多个聚乙二醇重复单元的聚烯烃-聚乙二醇共聚物,其中至少一个聚乙二醇重复单元是支化的,并涉及一种使用该浆料组合物的抛光方法。CMP浆料组合物对单晶硅膜或多晶硅膜具有低的抛光率并对硅氧化物膜具有高的抛光率,从而表现出优异的抛光选择性。
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公开(公告)号:CN102884002A
公开(公告)日:2013-01-16
申请号:CN201180023381.X
申请日:2011-03-09
Applicant: 株式会社LG化学
CPC classification number: C09K3/1463 , B82Y30/00 , C01F17/0043 , C01F17/005 , C01P2002/60 , C01P2002/72 , C01P2004/03 , C01P2004/38 , C01P2004/39 , C01P2004/51 , C01P2004/52 , C01P2004/62 , C01P2004/64 , C09K3/1409 , Y10T428/2982
Abstract: 本发明涉及以一种简单、经济、和有效率的方式制备的晶体氧化铈,其晶体结构、形状,和尺寸可以被轻松地调节且其展示出优异的抛光性能,以及涉及它的制备方法。该晶体氧化铈可以被制备为亚微米级晶体氧化铈,其具有在预定范围内的平均体积直径和直径标准偏差。
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公开(公告)号:CN102648265A
公开(公告)日:2012-08-22
申请号:CN201080056417.X
申请日:2010-10-13
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C09K3/14 , H01L21/304
CPC classification number: H01L21/31053 , C09G1/02 , C09K3/1463
Abstract: 本发明涉及CMP浆料组合物,其包含:研磨颗粒;分散剂;离子聚合物添加剂;和非离子聚合物添加剂,该非离子聚合物添加剂包括含有两个或更多个聚乙二醇重复单元的聚烯烃-聚乙二醇共聚物,其中至少一个聚乙二醇重复单元是支化的,并涉及一种使用该浆料组合物的抛光方法。CMP浆料组合物对单晶硅膜或多晶硅膜具有低的抛光率并对硅氧化物膜具有高的抛光率,从而表现出优异的抛光选择性。
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