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公开(公告)号：CN108474115B
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN201680075857.7
申请日：2016-12-21
Applicant: 株式会社FLOSFIA
IPC: B05D1/02
Abstract: 为了提供具有工业优势质量的薄膜的目的，本发明提出了一种成膜方法。本发明的方法的实施方式包括：将含有非质子溶剂(可以是内酯或内酰胺)的原料溶液变成雾或液滴(雾化步骤)，将雾或液滴携带至设置在成膜室的基体上(雾的运送步骤)，以及优选在250℃或以下的温度使雾或液滴反应，从而在基体上成膜(成膜步骤)。
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