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公开(公告)号:CN104736983B
公开(公告)日:2017-05-31
申请号:CN201380054448.5
申请日:2013-10-15
IPC: G01L9/00
CPC classification number: G01L19/069 , G01L9/0054 , G01L19/0645 , G01L19/142 , H01L2924/0002 , H01L2924/10253 , H01L2924/3025 , H01L2924/00
Abstract: 传感器芯片(1)中,在其主体部接地的状态下,形成于电路层(72)的上方的构成屏蔽电极的屏蔽层(71)经由电阻体(46)接地。
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公开(公告)号:CN104736983A
公开(公告)日:2015-06-24
申请号:CN201380054448.5
申请日:2013-10-15
IPC: G01L9/00
CPC classification number: G01L19/069 , G01L9/0054 , G01L19/0645 , G01L19/142 , H01L2924/0002 , H01L2924/10253 , H01L2924/3025 , H01L2924/00
Abstract: 传感器芯片(1)中,在其主体部接地的状态下,形成于电路层(72)的上方的构成屏蔽电极的屏蔽层(71)经由电阻体(46)接地。
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公开(公告)号:CN109932108B
公开(公告)日:2021-09-28
申请号:CN201811240289.9
申请日:2018-10-24
Applicant: 富士电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种用于检测压力的压力传感器。提供一种压力传感器,其具备:设置于基板的膜片的传感器部;设置于基板且与传感器部电连接的电路部;设置于基板的上方的导电性的焊盘;以及设置在焊盘上的第一保护膜,第一保护膜也设置于电路部的上方。第一保护膜可以覆盖整个电路部。第一保护膜可以不覆盖传感器部的至少一部分。第一保护膜可以覆盖传感器部的一部分。
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公开(公告)号:CN106441695B
公开(公告)日:2020-08-28
申请号:CN201610515625.0
申请日:2016-07-01
Applicant: 富士电机株式会社
Abstract: 本发明提供能够使输出特性的非线性降低的半导体物理量传感器装置。传感器部和特性校正电路的高电位侧与电源端子之间通过第一电源布线、第三电源布线连接。放大电路和基准电压电路的高电位侧与电源端子之间通过第二电源布线、第四电源布线连接。传感器部、放大电路、特性校正电路和基准电压电路的低电位侧连接到接地端子。在第三电源布线上连接有CR滤波器。在第四电源布线上连接有第一电阻。在输出端子与接地端子之间连接有第二电阻。放大电路为推挽输出型运算放大器。以抵消传感器部的输出特性的非线性的方式设定使放大电路的输出特性为相反特性的非线性的第一电阻的电阻值。
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公开(公告)号:CN109932108A
公开(公告)日:2019-06-25
申请号:CN201811240289.9
申请日:2018-10-24
Applicant: 富士电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种用于检测压力的压力传感器。提供一种压力传感器,其具备:设置于基板的膜片的传感器部;设置于基板且与传感器部电连接的电路部;设置于基板的上方的导电性的焊盘;以及设置在焊盘上的第一保护膜,第一保护膜也设置于电路部的上方。第一保护膜可以覆盖整个电路部。第一保护膜可以不覆盖传感器部的至少一部分。第一保护膜可以覆盖传感器部的一部分。
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公开(公告)号:CN113447169A
公开(公告)日:2021-09-28
申请号:CN202110208605.X
申请日:2021-02-24
Applicant: 富士电机株式会社
Abstract: 本发明的传感器装置及传感器系统使连接压力传感器与处理装置的线束数减少。提供包括对物理量进行检测的物理量传感器、以及生成并输出包含从外部输入的第1信号中所包含的第1数据和表示物理量传感器的检测结果的第2数据的第2信号的处理电路的传感器装置。第1信号和第2信号分别具有多个消息,各个消息具有两个以上的高速数据片段、以及低速数据片段,第1信号和第2信号分别是预先决定的数据被分割并存储于两个以上的消息中的低速数据片段而得到的信号,处理电路也可以将第1数据和第2数据存储于第2信号的两个高速数据片段。
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公开(公告)号:CN111989556A
公开(公告)日:2020-11-24
申请号:CN201980021523.5
申请日:2019-08-30
Applicant: 富士电机株式会社
Inventor: 松并和宏
IPC: G01L9/00
Abstract: 本发明的压力传感器在隔膜破损而桥式电路发生了故障的情况下,尽早对破损的情况进行检测。压力传感器包括:设有隔膜的基板;包含设置于隔膜的4个电阻元件、施加有高压侧电压和低压侧电压并具有2个输出端子的桥式电路;分别检测桥式电路的第1输出端子中的第1输出和第2输出端子中的第2输出的检测部;以及基于检测部中的检测结果来检测桥式电路的故障的故障检测部。
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公开(公告)号:CN103946672B
公开(公告)日:2016-06-01
申请号:CN201280056285.X
申请日:2012-12-28
Applicant: 富士电机株式会社
CPC classification number: G05B15/02 , G01D3/0365
Abstract: 本发明中,第1获取部(111)获取物理量传感器(101)的初始输出值。第2获取部(112)获取物理量传感器(101)的目标输出值。第1计算部(113)基于物理量传感器(101)的初始输出值以及目标输出值来计算出2次的第1特性式并提取出第1特性值,该2次的第1特性式表示物理量传感器(101)的修正后的输出特性。第2计算部(114)基于规定温度及第1特性值计算出用于修正第1特性值的2次的第2特性式,并提取出第2特性值。运算部(104)基于将第2特性值输入第2特性式来进行修正后的第1特性式,计算出物理量传感器(101)的修正后的输出值。由此,能提高修正精度,降低成本,并能实现处理速度的高速化。
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公开(公告)号:CN103328932B
公开(公告)日:2015-08-05
申请号:CN201280005489.0
申请日:2012-02-28
Applicant: 富士电机株式会社
CPC classification number: G11C16/102 , G01R1/20 , G11C16/10 , G11C16/12 , G11C16/30 , G11C2216/30
Abstract: 辅助存储器电路(12)由串联连接有多个触发器的移位寄存器、以及反转各D触发器的输出(Q0)~(Qn)而输出的多个反转电路构成。主存储器电路(13)由通过来自于辅助存储器电路(12)的信号制动的开关(SWa),以及与开关(SWa)串联连接且通过写入电压(1)驱动的EPROM构成。可变电阻电压(19)由通过来自于辅助存储器电路(12)的信号制动的开关(SWb),以及与开关(SWb)串联连接的电阻(Ra)构成。如此,能够使写入电压(1)和写入电压(2)的端子通用化。并且,能够提供一种使写入EOROM时的电压为恒定而能够进行电修整的低成本的半导体集成电路及半导体物理量传感装置。
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公开(公告)号:CN103946672A
公开(公告)日:2014-07-23
申请号:CN201280056285.X
申请日:2012-12-28
Applicant: 富士电机株式会社
CPC classification number: G05B15/02 , G01D3/0365
Abstract: 本发明中,第1获取部(111)获取物理量传感器(101)的初始输出值。第2获取部(112)获取物理量传感器(101)的目标输出值。第1计算部(113)基于物理量传感器(101)的初始输出值以及目标输出值来计算出2次的第1特性式并提取出第1特性值,该2次的第1特性式表示物理量传感器(101)的修正后的输出特性。第2计算部(114)基于规定温度及第1特性值计算出用于修正第1特性值的2次的第2特性式,并提取出第2特性值。运算部(104)基于将第2特性值输入第2特性式来进行修正后的第1特性式,计算出物理量传感器(101)的修正后的输出值。由此,能提高修正精度,降低成本,并能实现处理速度的高速化。
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