公开(公告)号：CN104303240A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201380025510.8

申请日：2013-01-29

Applicant: 株式会社钟化

Inventor： 上田拓明 ,  近藤晃三 ,  檀野和久

IPC: H01B5/14 ,  B32B9/00 ,  C23C14/08 ,  C23C14/10 ,  C23C14/34 ,  H01B13/00

CPC classification number: G06F1/16 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/08 ,  C23C14/083 ,  C23C14/086 ,  C23C14/10 ,  C23C14/34 ,  C23C14/35 ,  C23C14/562 ,  G06F3/044 ,  G06F2203/04103 ,  G06F2203/04112

Abstract: 本发明的目的在于提供一种透明电极层被图案化时，图案也不易被视觉辨识的带有透明电极的基板及其制造方法。本发明的带有透明电极的基板在透明膜的至少一面依次具有第一电介质层、第二电介质层、第三电介质层以及被图案化的透明电极层。第一电介质层是以SiOx为主要成分的硅氧化物层，第二电介质层是以金属的氧化物为主要成分的金属氧化物层，第三电介质层是以SiOy为主要成分的硅氧化物层。透明电极层是以铟·锡复合氧化物为主要成分的导电性金属氧化物层。第一电介质层的折射率n1、上述第二电介质层的折射率n2以及上述第三电介质层的折射率n3满足n3＜n1＜n2的关系。各电介质层及透明电极层优选具有规定范围内的膜厚及折射率。

公开(公告)号：CN104303240B

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201380025510.8

申请日：2013-01-29

Applicant: 株式会社钟化

Inventor： 上田拓明 ,  近藤晃三 ,  檀野和久

IPC: H01B5/14 ,  B32B9/00 ,  C23C14/08 ,  C23C14/10 ,  C23C14/34 ,  H01B13/00

CPC classification number: G06F1/16 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/08 ,  C23C14/083 ,  C23C14/086 ,  C23C14/10 ,  C23C14/34 ,  C23C14/35 ,  C23C14/562 ,  G06F3/044 ,  G06F2203/04103 ,  G06F2203/04112

Abstract: 本发明的目的在于提供一种透明电极层被图案化时，图案也不易被视觉辨识的带有透明电极的基板及其制造方法。本发明的带有透明电极的基板在透明膜的至少一面依次具有第一电介质层、第二电介质层、第三电介质层以及被图案化的透明电极层。第一电介质层是以SiOx为主要成分的硅氧化物层，第二电介质层是以金属的氧化物为主要成分的金属氧化物层，第三电介质层是以SiOy为主要成分的硅氧化物层。透明电极层是以铟·锡复合氧化物为主要成分的导电性金属氧化物层。第一电介质层的折射率n1、上述第二电介质层的折射率n2以及上述第三电介质层的折射率n3满足n3＜n1＜n2的关系。各电介质层及透明电极层优选具有规定范围内的膜厚及折射率。