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公开(公告)号：CN112007470B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202010268559.8
申请日：2020-04-07
Applicant: 株式会社西部技研
Abstract: 本发明提供一种气体置换系统，其在容纳了制造装置的非活性气体浓度的干燥室中，能够在较短时间内进行大气环境或者低露点、非活性气体环境的切换。一种需要以低露点、非活性气体浓度保持室的内部清洁的气体置换用系统，在该气体置换用系统中，通过在进行维修或保养等期间，设成以单向的方式向室内引入干燥空气而将湿气向装置外排出，并且非活性气体循环管线均被阀等封闭而独立地进行循环运转，即使在具有多个室的情况下也能够大大缩短基于大气置换的停止时间。通过连接低露点气体供给装置与非活性气体精制装置而形成一体型，变得省空间并且低成本。
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公开(公告)号：CN115614855A
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202210072797.0
申请日：2022-01-21
Applicant: 株式会社西部技研
Abstract: 提供一种洁净棚，其形成成为单向层流及均匀循环的气流特性，能够适用于ISO 3级至4级甚至更高清洁度，有利于提高产率、降低成本。本发明的高清洁度洁净棚具备：(A)用于实现高清洁度环境的吹出结构；(B)用于使棚侧壁成为均匀的循环路径的双壁结构；(C)用于减少由各种装置产生的气流的紊乱、滞留及扬尘的整流结构；以及(D)局部抽吸机构，这些通过考虑了实际条件的(E)数值流体力学(CFD)设计。
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公开(公告)号：CN106091175B
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201610278699.7
申请日：2016-04-28
Applicant: 株式会社西部技研
IPC: F24F3/14
Abstract: 本发明提供利用了热泵的除湿装置，即使再生温度低至50度，也能够供给低露点的空气。本发明具有第一除湿转轮和第二除湿转轮，将外部气体由第一冷却器进行冷却除湿之后，使其经过第一除湿转轮的吸附区域，使经过了第一除湿转轮的吸附区域的空气，经过第二冷却器和第二除湿转轮的吸附区域，并作为供给空气供给至干燥室；将来自干燥室的回风空气与经过了第一除湿转轮的吸附区域的空气混合，将经过了第二除湿转轮的吸附区域的空气的一部分分流，由第二加热器加热，并使其经过第二除湿转轮的再生区域，将经过了第二除湿转轮的再生区域的空气，由第三加热器加热，并使其经过第一除湿转轮的再生区域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105169897A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510338426.2
申请日：2015-06-17
Applicant: 株式会社西部技研
Abstract: 本发明提供一种吸附式除湿装置，能够以简单的装置快速地调整供给空气的湿度，能够快速地应对干燥空气的供给端的湿负荷变动的情况。吸附式除湿装置，使外部空气经过湿气吸附转子(7)的吸附区(8)，将由此成为低露点的干燥空气供给至室内，该吸附式除湿装置设置有使从吸附区(8)出来的干燥空气的一部分绕行的旁路(19)，在旁路(19)的途中配置有加湿器(21)，在使从加湿器(21)出来的空气和从吸附区(8)出来的空气混合的管道设置有湿度传感器(23)，根据该湿度传感器(23)的输出，由电磁阀(22)来调节流入旁路(19)的空气的量。由此，供给空气(SA)的空气湿度根据流入旁路(19)的空气的量进行调整。
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公开(公告)号：CN109499274B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN201810903560.6
申请日：2018-08-09
Applicant: 株式会社西部技研
IPC: B01D53/26
Abstract: 本发明提供一种收纳有制造装置的低活性气体浓度的干燥容器中，在低露点的环境下，能够在比较短时间内进行制造装置的维护或换产调整等的非活性气体精制装置。一种需要以低露点、低活性气体浓度清洁地保持内部的容器的气体置换用除湿精制装置，通过将容器收纳于低露点的干燥室从而进行维护或维修等期间，向容器内单向输入干燥空气从而使湿气排出到装置外，设为氮气循环管全部用阀等进行封闭而使配管内充满氮气的状态，在循环路中循环通过除湿机产生的干燥空气，由此能够将容器外部的湿气负荷抑制为最小，能够大幅缩短由大气置换产生的停止时间。并且，通过分割除湿装置和除氧装置，从而改变各自的循环次数，由此能够调节最适当的运转环境。
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公开(公告)号：CN112007470A
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN202010268559.8
申请日：2020-04-07
Applicant: 株式会社西部技研
Abstract: 本发明提供一种气体置换系统，其在容纳了制造装置的非活性气体浓度的干燥室中，能够在较短时间内进行大气环境或者低露点、非活性气体环境的切换。一种需要以低露点、非活性气体浓度保持室的内部清洁的气体置换用系统，在该气体置换用系统中，通过在进行维修或保养等期间，设成以单向的方式向室内引入干燥空气而将湿气向装置外排出，并且非活性气体循环管线均被阀等封闭而独立地进行循环运转，即使在具有多个室的情况下也能够大大缩短基于大气置换的停止时间。通过连接低露点气体供给装置与非活性气体精制装置而形成一体型，变得省空间并且低成本。
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公开(公告)号：CN109499274A
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201810903560.6
申请日：2018-08-09
Applicant: 株式会社西部技研
IPC: B01D53/26
Abstract: 本发明提供一种收纳有制造装置的低活性气体浓度的干燥容器中，在低露点的环境下，能够在比较短时间内进行制造装置的维护或换产调整等的非活性气体精制装置。一种需要以低露点、低活性气体浓度清洁地保持内部的容器的气体置换用除湿精制装置，通过将容器收纳于低露点的干燥室从而进行维护或维修等期间，向容器内单向输入干燥空气从而使湿气排出到装置外，设为氮气循环管全部用阀等进行封闭而使配管内充满氮气的状态，在循环路中循环通过除湿机产生的干燥空气，由此能够将容器外部的湿气负荷抑制为最小，能够大幅缩短由大气置换产生的停止时间。并且，通过分割除湿装置和除氧装置，从而改变各自的循环次数，由此能够调节最适当的运转环境。
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公开(公告)号：CN106091175A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610278699.7
申请日：2016-04-28
Applicant: 株式会社西部技研
IPC: F24F3/14
Abstract: 本发明提供利用了热泵的除湿装置，即使再生温度低至50度，也能够供给低露点的空气。本发明具有第一除湿转轮和第二除湿转轮，将外部气体由第一冷却器进行冷却除湿之后，使其经过第一除湿转轮的吸附区域，使经过了第一除湿转轮的吸附区域的空气，经过第二冷却器和第二除湿转轮的吸附区域，并作为供给空气供给至干燥室；将来自干燥室的回风空气与经过了第一除湿转轮的吸附区域的空气混合，将经过了第二除湿转轮的吸附区域的空气的一部分分流，由第二加热器加热，并使其经过第二除湿转轮的再生区域，将经过了第二除湿转轮的再生区域的空气，由第三加热器加热，并使其经过第一除湿转轮的再生区域。
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