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公开(公告)号：CN112007470B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202010268559.8
申请日：2020-04-07
Applicant: 株式会社西部技研
Abstract: 本发明提供一种气体置换系统，其在容纳了制造装置的非活性气体浓度的干燥室中，能够在较短时间内进行大气环境或者低露点、非活性气体环境的切换。一种需要以低露点、非活性气体浓度保持室的内部清洁的气体置换用系统，在该气体置换用系统中，通过在进行维修或保养等期间，设成以单向的方式向室内引入干燥空气而将湿气向装置外排出，并且非活性气体循环管线均被阀等封闭而独立地进行循环运转，即使在具有多个室的情况下也能够大大缩短基于大气置换的停止时间。通过连接低露点气体供给装置与非活性气体精制装置而形成一体型，变得省空间并且低成本。
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公开(公告)号：CN103802138B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201310562606.X
申请日：2013-11-13
Applicant: 株式会社西部技研
IPC: B25J21/02
CPC classification number: Y02C10/06
Abstract: 提供一种能降低干燥室内的二氧化碳浓度的手套式操作箱。将除湿旋转器相对其旋转方向分为吸附区（2）、净化区（3）、再生区（4），设置使空气经过再生区（4）而进行再循环的再生循环路径，使外部空气与再生循环空气的一部分混合后进行冷却，在此基础上，使之通过填充有碱金属氢氧化物或碱土类金属氢氧化物组成的二氧化碳吸收剂的二氧化碳吸收罐（10），之后使之通过吸附区（2），将通过了吸附区（2）的空气供给至干燥室（16）供给，并且，使该空气经回流空气阀18）而进入冷却装置（22），使该冷却干燥空气再次返回直到吸附区（2）。
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公开(公告)号：CN103802138A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201310562606.X
申请日：2013-11-13
Applicant: 株式会社西部技研
IPC: B25J21/02
CPC classification number: Y02C10/06
Abstract: 提供一种能降低干燥室内的二氧化碳浓度的手套式操作箱。将除湿旋转器相对其旋转方向分为吸附区（2）、净化区（3）、再生区（4），设置使空气经过再生区（4）而进行再循环的再生循环路径，使外部空气与再生循环空气的一部分混合后进行冷却，在此基础上，使之通过填充有碱金属氢氧化物或碱土类金属氢氧化物组成的二氧化碳吸收剂的二氧化碳吸收罐（10），之后使之通过吸附区（2），将通过了吸附区（2）的空气供给至干燥室（16）供给，并且，使该空气经回流空气阀（18）而进入冷却装置（22），使该冷却干燥空气再次返回直到吸附区（2）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109282374B
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN201810482109.1
申请日：2018-05-18
Applicant: 株式会社西部技研
IPC: F24F3/14
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够将低湿度作业室内的二氧化碳浓度控制在100ppm以下的除湿空调装置。本发明中，用预冷器对外部空气进行冷却除湿，通过吸附二氧化碳的二氧化碳吸附转子的吸附区域，将由此二氧化碳浓度变低了的空气用中冷器进行冷却，使已通过中冷器的空气的一部分分支并使其通过吸湿转子的吸附区域，以使供给至低湿度作业室，将来自低湿度作业室的回流空气与从预冷器排出的空气进行混合，使已通过中冷器的空气的一部分分支并使其通过吸湿转子的净化区域，以使输送至吸湿转子的再生区域，将已通过吸湿转子的再生区域的空气与外部空气进行混合，以使在通过二氧化碳吸附转子的再生区域之后，排出到装置外。
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公开(公告)号：CN109282374A
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201810482109.1
申请日：2018-05-18
Applicant: 株式会社西部技研
IPC: F24F3/14
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够将低湿度作业室内的二氧化碳浓度控制在100ppm以下的除湿空调装置。本发明中，用预冷器对外部空气进行冷却除湿，通过吸附二氧化碳的二氧化碳吸附转子的吸附区域，将由此二氧化碳浓度变低了的空气用中冷器进行冷却，使已通过中冷器的空气的一部分分支并使其通过吸湿转子的吸附区域，以使供给至低湿度作业室，将来自低湿度作业室的回流空气与从预冷器排出的空气进行混合，使已通过中冷器的空气的一部分分支并使其通过吸湿转子的净化区域，以使输送至吸湿转子的再生区域，将已通过吸湿转子的再生区域的空气与外部空气进行混合，以使在通过二氧化碳吸附转子的再生区域之后，排出到装置外。
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公开(公告)号：CN109499274B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN201810903560.6
申请日：2018-08-09
Applicant: 株式会社西部技研
IPC: B01D53/26
Abstract: 本发明提供一种收纳有制造装置的低活性气体浓度的干燥容器中，在低露点的环境下，能够在比较短时间内进行制造装置的维护或换产调整等的非活性气体精制装置。一种需要以低露点、低活性气体浓度清洁地保持内部的容器的气体置换用除湿精制装置，通过将容器收纳于低露点的干燥室从而进行维护或维修等期间，向容器内单向输入干燥空气从而使湿气排出到装置外，设为氮气循环管全部用阀等进行封闭而使配管内充满氮气的状态，在循环路中循环通过除湿机产生的干燥空气，由此能够将容器外部的湿气负荷抑制为最小，能够大幅缩短由大气置换产生的停止时间。并且，通过分割除湿装置和除氧装置，从而改变各自的循环次数，由此能够调节最适当的运转环境。
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公开(公告)号：CN112007470A
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN202010268559.8
申请日：2020-04-07
Applicant: 株式会社西部技研
Abstract: 本发明提供一种气体置换系统，其在容纳了制造装置的非活性气体浓度的干燥室中，能够在较短时间内进行大气环境或者低露点、非活性气体环境的切换。一种需要以低露点、非活性气体浓度保持室的内部清洁的气体置换用系统，在该气体置换用系统中，通过在进行维修或保养等期间，设成以单向的方式向室内引入干燥空气而将湿气向装置外排出，并且非活性气体循环管线均被阀等封闭而独立地进行循环运转，即使在具有多个室的情况下也能够大大缩短基于大气置换的停止时间。通过连接低露点气体供给装置与非活性气体精制装置而形成一体型，变得省空间并且低成本。
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公开(公告)号：CN109499274A
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201810903560.6
申请日：2018-08-09
Applicant: 株式会社西部技研
IPC: B01D53/26
Abstract: 本发明提供一种收纳有制造装置的低活性气体浓度的干燥容器中，在低露点的环境下，能够在比较短时间内进行制造装置的维护或换产调整等的非活性气体精制装置。一种需要以低露点、低活性气体浓度清洁地保持内部的容器的气体置换用除湿精制装置，通过将容器收纳于低露点的干燥室从而进行维护或维修等期间，向容器内单向输入干燥空气从而使湿气排出到装置外，设为氮气循环管全部用阀等进行封闭而使配管内充满氮气的状态，在循环路中循环通过除湿机产生的干燥空气，由此能够将容器外部的湿气负荷抑制为最小，能够大幅缩短由大气置换产生的停止时间。并且，通过分割除湿装置和除氧装置，从而改变各自的循环次数，由此能够调节最适当的运转环境。
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