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公开(公告)号：CN112007470B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202010268559.8
申请日：2020-04-07
Applicant: 株式会社西部技研
Abstract: 本发明提供一种气体置换系统，其在容纳了制造装置的非活性气体浓度的干燥室中，能够在较短时间内进行大气环境或者低露点、非活性气体环境的切换。一种需要以低露点、非活性气体浓度保持室的内部清洁的气体置换用系统，在该气体置换用系统中，通过在进行维修或保养等期间，设成以单向的方式向室内引入干燥空气而将湿气向装置外排出，并且非活性气体循环管线均被阀等封闭而独立地进行循环运转，即使在具有多个室的情况下也能够大大缩短基于大气置换的停止时间。通过连接低露点气体供给装置与非活性气体精制装置而形成一体型，变得省空间并且低成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116899401A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310094857.3
申请日：2023-02-03
Applicant: 株式会社西部技研
Abstract: 本发明提供一种能够降低压力损失，连续处理大风量的气体，结构简单且低成本的除氧装置。本发明的除氧装置的特征在于，在以催化剂·吸附方式使用的吸附塔内不填充催化剂·吸附剂颗粒等，而是制成担载有能够分离催化剂或吸附剂等氧或氮的气体分离部件的蜂窝体，在处理操作中，将处理气体向蜂窝体通风而去除处理气体中的氧或氮，在再生操作中，通过通风再生气体而使蜂窝体再生，由此，能够降低压力损失，应对大风量。
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公开(公告)号：CN115614855A
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202210072797.0
申请日：2022-01-21
Applicant: 株式会社西部技研
Abstract: 提供一种洁净棚，其形成成为单向层流及均匀循环的气流特性，能够适用于ISO 3级至4级甚至更高清洁度，有利于提高产率、降低成本。本发明的高清洁度洁净棚具备：(A)用于实现高清洁度环境的吹出结构；(B)用于使棚侧壁成为均匀的循环路径的双壁结构；(C)用于减少由各种装置产生的气流的紊乱、滞留及扬尘的整流结构；以及(D)局部抽吸机构，这些通过考虑了实际条件的(E)数值流体力学(CFD)设计。
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公开(公告)号：CN109499274B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN201810903560.6
申请日：2018-08-09
Applicant: 株式会社西部技研
IPC: B01D53/26
Abstract: 本发明提供一种收纳有制造装置的低活性气体浓度的干燥容器中，在低露点的环境下，能够在比较短时间内进行制造装置的维护或换产调整等的非活性气体精制装置。一种需要以低露点、低活性气体浓度清洁地保持内部的容器的气体置换用除湿精制装置，通过将容器收纳于低露点的干燥室从而进行维护或维修等期间，向容器内单向输入干燥空气从而使湿气排出到装置外，设为氮气循环管全部用阀等进行封闭而使配管内充满氮气的状态，在循环路中循环通过除湿机产生的干燥空气，由此能够将容器外部的湿气负荷抑制为最小，能够大幅缩短由大气置换产生的停止时间。并且，通过分割除湿装置和除氧装置，从而改变各自的循环次数，由此能够调节最适当的运转环境。
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公开(公告)号：CN112007470A
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN202010268559.8
申请日：2020-04-07
Applicant: 株式会社西部技研
Abstract: 本发明提供一种气体置换系统，其在容纳了制造装置的非活性气体浓度的干燥室中，能够在较短时间内进行大气环境或者低露点、非活性气体环境的切换。一种需要以低露点、非活性气体浓度保持室的内部清洁的气体置换用系统，在该气体置换用系统中，通过在进行维修或保养等期间，设成以单向的方式向室内引入干燥空气而将湿气向装置外排出，并且非活性气体循环管线均被阀等封闭而独立地进行循环运转，即使在具有多个室的情况下也能够大大缩短基于大气置换的停止时间。通过连接低露点气体供给装置与非活性气体精制装置而形成一体型，变得省空间并且低成本。
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公开(公告)号：CN109499274A
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201810903560.6
申请日：2018-08-09
Applicant: 株式会社西部技研
IPC: B01D53/26
Abstract: 本发明提供一种收纳有制造装置的低活性气体浓度的干燥容器中，在低露点的环境下，能够在比较短时间内进行制造装置的维护或换产调整等的非活性气体精制装置。一种需要以低露点、低活性气体浓度清洁地保持内部的容器的气体置换用除湿精制装置，通过将容器收纳于低露点的干燥室从而进行维护或维修等期间，向容器内单向输入干燥空气从而使湿气排出到装置外，设为氮气循环管全部用阀等进行封闭而使配管内充满氮气的状态，在循环路中循环通过除湿机产生的干燥空气，由此能够将容器外部的湿气负荷抑制为最小，能够大幅缩短由大气置换产生的停止时间。并且，通过分割除湿装置和除氧装置，从而改变各自的循环次数，由此能够调节最适当的运转环境。
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