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发明公开
洁净棚审中-实审

公开(公告)号：CN115614855A

公开(公告)日：2023-01-17

申请号：CN202210072797.0

申请日：2022-01-21

Applicant: 株式会社西部技研

Inventor： 永田哲志 , 河口和彦 , 渡边翔太 , 江岛宽明 , 岩崎麻由

IPC: F24F3/167 , F24F7/003 , F24F8/108 , F24F13/08 , F24F13/28 , E04H5/02

Abstract: 提供一种洁净棚，其形成成为单向层流及均匀循环的气流特性，能够适用于ISO 3级至4级甚至更高清洁度，有利于提高产率、降低成本。本发明的高清洁度洁净棚具备：(A)用于实现高清洁度环境的吹出结构；(B)用于使棚侧壁成为均匀的循环路径的双壁结构；(C)用于减少由各种装置产生的气流的紊乱、滞留及扬尘的整流结构；以及(D)局部抽吸机构，这些通过考虑了实际条件的(E)数值流体力学(CFD)设计。

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