公开(公告)号：CN112703268B

公开(公告)日：2023-02-21

申请号：CN201980062639.3

申请日：2019-09-26

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 阿部麻衣子 ,  赤理孝一郎

IPC: C23C8/36

Abstract: 本发明提供一种能够准确地测量被氮化处理的被处理体的温度，并抑制化合物层的生成的氮化处理装置以及氮化处理方法。氮化处理装置（1）具备腔室（10）、气体供给部（50）、支撑体（20）、等离子体发生源（30）、加热器（70）、包含测温部（61S）的热电偶丝（61）、收容构件（60）、被处理体用电源（41）以及处理条件控制部（80）。收容构件在与热电偶丝绝缘的状态下以覆盖所述测温部的方式将热电偶丝收容于内部。被处理体用电源以使被处理体（W）以及收容构件被设定为负侧的相同电位的方式向被处理体以及收容构件施加指定的电压。

公开(公告)号：CN111212929A

公开(公告)日：2020-05-29

申请号：CN201880067006.7

申请日：2018-10-03

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 广田悟史 ,  赤理孝一郎

IPC: C23C14/02 ,  C23C14/22

Abstract: 本发明提供一种能够在基材的表面形成具有比该基材的硬度高的高度的皮膜并使该皮膜良好地紧贴于基材的表面的成膜方法。该成膜方法包括以下步骤：使通过一边在收容基材的腔室内导入惰性气体一边放电而生成的惰性气体离子冲撞于基材的表面，从而对基材的表面进行蚀刻的蚀刻步骤；一边通过使惰性气体离子冲撞于金属靶材而使金属粒子从金属靶材飞出并使该金属粒子堆积于在蚀刻步骤被蚀刻后的基材的表面，一边使惰性气体离子冲撞于在基材的表面被堆积的金属粒子而将该金属粒子打进基材的表面的打进步骤；以及将皮膜形成于在打进步骤被打进金属粒子后的基材的表面的皮膜形成步骤。

公开(公告)号：CN112703268A

公开(公告)日：2021-04-23

申请号：CN201980062639.3

申请日：2019-09-26

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 阿部麻衣子 ,  赤理孝一郎

IPC: C23C8/36

Abstract: 本发明提供一种能够准确地测量被氮化处理的被处理体的温度，并抑制化合物层的生成的氮化处理装置以及氮化处理方法。氮化处理装置（1）具备腔室（10）、气体供给部（50）、支撑体（20）、等离子体发生源（30）、加热器（70）、包含测温部（61S）的热电偶丝（61）、收容构件（60）、被处理体用电源（41）以及处理条件控制部（80）。收容构件在与热电偶丝绝缘的状态下以覆盖所述测温部的方式将热电偶丝收容于内部。被处理体用电源以使被处理体（W）以及收容构件被设定为负侧的相同电位的方式向被处理体以及收容构件施加指定的电压。

公开(公告)号：CN100564031C

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN200610128589.9

申请日：2006-09-05

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 赤理孝一郎 ,  太田安喜俊

IPC: B32B33/00 ,  C23C14/34 ,  C09K3/00

CPC classification number: C23C28/322 ,  C23C14/024 ,  C23C14/0605 ,  C23C28/321 ,  C23C28/323 ,  C23C28/325 ,  C23C28/343 ,  C23C28/347 ,  C23C30/005 ,  Y10T428/30

Abstract: 一种类金刚石碳硬质多层薄膜形成的物体，其包括基底、主要由类金刚石碳构成的类金刚石碳薄膜和在基底和类金刚石碳薄膜之间的中间层。类金刚石碳薄膜从基底侧依次由第一类金刚石碳薄膜和第二类金刚石碳薄膜构成。基于毫微级压痕试验，第一类金刚石碳薄膜的表面硬度为不少于10GPa至不多于40GPa，并且基于毫微级压痕试验，第二类金刚石碳薄膜的表面硬度为40GPa以上至不多于90GPa。根据所述结构，即使在从具有高硬度的材料如烧结碳化物至具有低硬度的铁基材料的各类基底上形成厚度不少于约3微米的在最外表面侧上包含高硬度DLC薄膜的DLC多层，除极好的耐磨性之外，能够确保对基底和DLC薄膜两者具有极好的粘合性。

公开(公告)号：CN115335547A

公开(公告)日：2022-11-11

申请号：CN202180022790.1

申请日：2021-03-12

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 赤理孝一郎

IPC: C23C14/06 ,  F04D29/02

Abstract: 本发明提供一种具有优异的耐砂土磨损性的硬质覆膜。本发明涉及一种硬质覆膜(20)，其包括氮化物，所述氮化物将Al和Cr作为主成分而含有，所述硬质覆膜的厚度为6μm以上。

公开(公告)号：CN1927581A

公开(公告)日：2007-03-14

申请号：CN200610128589.9

申请日：2006-09-05

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 赤理孝一郎 ,  太田安喜俊

IPC: B32B33/00 ,  C23C14/34 ,  C09K3/00

CPC classification number: C23C28/322 ,  C23C14/024 ,  C23C14/0605 ,  C23C28/321 ,  C23C28/323 ,  C23C28/325 ,  C23C28/343 ,  C23C28/347 ,  C23C30/005 ,  Y10T428/30

Abstract: 一种类金刚石碳硬质多层薄膜形成的物体，其包括基底、主要由类金刚石碳构成的类金刚石碳薄膜和在基底和类金刚石碳薄膜之间的中间层。类金刚石碳薄膜从基底侧依次由第一类金刚石碳薄膜和第二类金刚石碳薄膜构成。基于毫微级压痕试验，第一类金刚石碳薄膜的表面硬度为不少于10GPa至不多于40GPa，并且基于毫微级压痕试验，第二类金刚石碳薄膜的表面硬度为40GPa以上至不多于90GPa。根据所述结构，即使在从具有高硬度的材料如烧结碳化物至具有低硬度的铁基材料的各类基底上形成厚度不少于约3微米的在最外表面侧上包含高硬度DLC薄膜的DLC多层，除极好的耐磨性之外，能够确保对基底和DLC薄膜两者具有极好的粘合性。