公开(公告)号：CN105742209A

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201510983270.3

申请日：2015-12-24

Applicant: 株式会社神户制钢所

Inventor： 濑川利规 ,  津村英幸

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC classification number: F27B9/145 ,  C23C14/02 ,  C23C14/541 ,  C23C14/562 ,  F26B13/10 ,  F27B9/28 ,  F27B9/36 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/6776

Abstract: 本发明的热处理装置包括：引导基材的多个辊，分别具有比基材宽度大的辊宽度；具有发热面的加热器，该发热面具有比基材宽度大的宽度尺寸；和隔热部件。隔热部件夹设在发热面露出部分与辊露出部分之间，所述发热面露出部分是发热面中的从基材的宽度方向的端部沿该宽度方向伸出而露出的部分，所述辊露出部分是多个辊中包含的特定辊中的从基材的宽度方向的端部向与发热面露出部分相同侧伸出而露出的部分，隔热部件将从发热面露出部分向辊露出部分的外周面的辐射遮挡。