阀装置以及MEMS装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114867682A

    公开(公告)日:2022-08-05

    申请号:CN202080089697.8

    申请日:2020-12-21

    Abstract: 本发明涉及阀装置以及MEMS装置。阀装置(1100)包括树脂制的壳体(1101)、MEMS装置(1103)以及端子(1102)。壳体具有使第1流体流通的第1流路(1110)、使第2流体流通的第2流路(1111)以及使第1流体与第2流体的混合流体流通的第3流路(1112)。MEMS装置设置于壳体。MEMS装置具有电极部(1138)。端子以使第1端部(1131)和与第1端部相反侧的第2端部(1132)露出的方式嵌入成型于壳体。端子的第1端部与电极部电连接,从第2端部输入电力而向MEMS装置供给。

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