公开(公告)号：CN1260589C

公开(公告)日：2006-06-21

申请号：CN02130561.7

申请日：2002-08-16

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 奥村俊之

IPC: G02B6/35 ,  G02B26/08 ,  G02B26/10

CPC classification number: G02B6/29395 ,  B81B2201/047 ,  B81C1/00238 ,  B81C3/001 ,  B81C2201/019 ,  G02B6/12007 ,  G02B6/29358 ,  G02B6/29361 ,  G02B6/29362 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/352 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/3556 ,  G02B6/356 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584 ,  G02B6/3588 ,  G02B6/3594 ,  G02B26/001 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/0841 ,  G02B2006/12104 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 一种功能器件及其制造方法。制备一驱动器电路衬底，将反射镜衬底设置在驱动器电路衬底之上。九个反射镜元件以3×3矩阵的形式被安置在反射镜衬底上。反射镜元件是由微电子机械系统(MEMS)制备。在驱动器电路衬底上设置绝缘衬底，在绝缘衬底上设置驱动光反射镜元件的驱动器电路。驱动器电路衬底通过热固粘合剂或类似物与反射镜衬底连接。