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公开(公告)号：CN100474056C
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200610162879.5
申请日：2006-11-28
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: G02F1/1333
Abstract: 本发明提供一种面板制造装置及其制造方法。用于解决在面板制造过程中必须要采用带有隔离粒子的密封材料的技术问题。当被上基板保持部(44)吸附的基板(W2)与间隔形成块(61)的上面靠接时，即可控制上基板保持部(44)的下降。被下基板保持部(53)吸附的基板(W1)被收纳于间隔形成块(61)的内侧。两块基板(W1、W2)贴合时，上基板保持部(44)的下降被间隔形成块(61)所限制，因此两块基板(W1、W2)之间的间隔即被限制为规定的基板间隔。所以，这种面板制造装置无需采用隔离粒子即可形成所需要的间隔。同时，减少了清洗设备所需花费的功夫，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN101960190B
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN200980106393.1
申请日：2009-02-26
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: F16K17/38 , F16K1/42 , F16K13/10 , F16K25/00 , Y10T137/4643 , Y10T137/86879
Abstract: 本发明提供一种寿命长的开闭阀。本发明的开闭阀(70)具有低熔点金属(76)，当在使低熔点金属(76)熔融的状态下使遮蔽部件(72)与该低熔点金属(76)的表面相接触时，则成为开闭阀(70)的内部空间分离成遮蔽部件(72)的内部空间与外部空间的关闭状态。如果分别预先连接开闭阀(70)的内部空间中的遮蔽部件(72)的内部空间与外部空间，则在关闭状态时外部装置彼此被隔断。在使遮蔽部件(72)的下端从低熔点金属(76)的表面离开的打开状态下，外部装置彼此连接在一起。
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公开(公告)号：CN1950536A
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN200580013553.X
申请日：2005-05-13
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种可对大型基板进行膜厚分布均匀的成膜、并可准确且响应性良好地进行蒸镀时加热温度和蒸发速度的控制的有机材料用蒸发源及采用该蒸发源的有机蒸镀装置。本发明的蒸发源具有容器主体部(31a)和盖部(31b)，所述容器主体部具有由高频感应线圈(50)构成的加热部，并用于容纳既定的有机材料，所述盖部具有用于使该有机材料的蒸气通过的蒸发口(31c)。从盖部(31b)的蒸发口(31c)放出的有机材料的蒸气量，就二维位置而言，以既定的基准位置为基准呈逐渐扩展状增加。
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公开(公告)号：CN101803462A
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN200880107222.6
申请日：2008-09-04
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/12 , C23C14/228 , H01L51/0011
Abstract: 提供一种有机材料蒸镀技术，该有机材料蒸镀技术能够提升蒸发材料的使用效率，并且，防止蒸发材料的经时劣化，而且，可靠地防止由蒸镀时的热导致的掩模的变形。本发明的有机材料用蒸发源，具有：喷淋板型的放出部(11)，在面内排列有多个放出口(12)；供给管(14)，设在放出部(11)内，经由喷出口(15)而向着放出部(11)的底部(11a)放出被导入的有机蒸发材料的蒸气并供给至放出部(11)内；以及冷却装置(17)，至少设在放出部(11)的放出口(12)侧的部位。冷却装置(17)，例如以将放出部(11)整体地覆盖的方式形成，在与放出部(11)的放出口(12)相对应的部位，具有使该有机蒸发材料的蒸气通过的蒸气通过孔(17a)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1975527A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200610162879.5
申请日：2006-11-28
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: G02F1/1333
Abstract: 本发明提供一种面板制造装置及其制造方法。用于解决在面板制造过程中必须要采用带有隔离粒子的密封材料的技术问题。当被上基板保持部(44)吸附的基板(W2)与间隔形成块(61)的上面靠接时，即可控制上基板保持部(44)的下降。被下基板保持部(53)吸附的基板(W1)被收纳于间隔形成块(61)的内侧。两块基板(W1、W2)贴合时，上基板保持部(44)的下降被间隔形成块(61)所限制，因此两块基板(W1、W2)之间的间隔即被限制为规定的基板间隔。所以，这种面板制造装置无需采用隔离粒子即可形成所需要的间隔。同时，减少了清洗设备所需花费的功夫，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN101960041B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200980106406.5
申请日：2009-02-26
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/564 , H05B33/10
Abstract: 本发明提供一种能够成膜膜质良好的薄膜的成膜源。各开闭阀(70)通过使遮蔽部件(72)与熔融的金属紧贴来成为关闭状态，因此关闭状态的气体遮蔽性高，而且不会起尘。当在多个蒸气产生装置(20)中产生各自的蒸镀材料(39)的蒸气的情况下，选定的蒸气产生装置(20)中产生的蒸气不会与来自其他蒸气产生装置的蒸气混合，因此不会混入成膜目的以外的蒸镀材料(39)，也不会由于起尘导致污染。因此能够获得膜质良好的薄膜。
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公开(公告)号：CN101803462B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN200880107222.6
申请日：2008-09-04
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/12 , C23C14/228 , H01L51/0011
Abstract: 提供一种有机材料蒸镀技术，该有机材料蒸镀技术能够提升蒸发材料的使用效率，并且，防止蒸发材料的经时劣化，而且，可靠地防止由蒸镀时的热导致的掩模的变形。本发明的有机材料用蒸发源，具有：喷淋板型的放出部(11)，在面内排列有多个放出口(12)；供给管(14)，设在放出部(11)内，经由喷出口(15)而向着放出部(11)的底部(11a)放出被导入的有机蒸发材料的蒸气并供给至放出部(11)内；以及冷却装置(17)，至少设在放出部(11)的放出口(12)侧的部位。冷却装置(17)，例如以将放出部(11)整体地覆盖的方式形成，在与放出部(11)的放出口(12)相对应的部位，具有使该有机蒸发材料的蒸气通过的蒸气通过孔(17a)。
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公开(公告)号：CN101960190A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106393.1
申请日：2009-02-26
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: F16K17/38 , F16K1/42 , F16K13/10 , F16K25/00 , Y10T137/4643 , Y10T137/86879
Abstract: 本发明提供一种寿命长的开闭阀。本发明的开闭阀(70)具有低熔点金属(76)，当在使低熔点金属(76)熔融的状态下使遮蔽部件(72)与该低熔点金属(76)的表面相接触时，则成为开闭阀(70)的内部空间分离成遮蔽部件(72)的内部空间与外部空间的关闭状态。如果分别预先连接开闭阀(70)的内部空间中的遮蔽部件(72)的内部空间与外部空间，则在关闭状态时外部装置彼此被隔断。在使遮蔽部件(72)的下端从低熔点金属(76)的表面离开的打开状态下，外部装置彼此连接在一起。
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公开(公告)号：CN101960041A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106406.5
申请日：2009-02-26
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/564 , H05B33/10
Abstract: 本发明提供一种能够成膜膜质良好的薄膜的成膜源。各开闭阀(70)通过使遮蔽部件(72)与熔融的金属紧贴来成为关闭状态，因此关闭状态的气体遮蔽性高，而且不会起尘。当在多个蒸气产生装置(20)中产生各自的蒸镀材料(39)的蒸气的情况下，选定的蒸气产生装置(20)中产生的蒸气不会与来自其他蒸气产生装置的蒸气混合，因此不会混入成膜目的以外的蒸镀材料(39)，也不会由于起尘导致污染。因此能够获得膜质良好的薄膜。
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