公开(公告)号：CN115552794A

公开(公告)日：2022-12-30

申请号：CN202180032018.8

申请日：2021-04-28

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 布莱恩特·加西亚 ,  帕特里克·特纳 ,  罗伯特·哈蒙德 ,  大内峰文

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/02 ,  H03H9/13 ,  H03H9/25

Abstract: 公开了声波谐振器装置和方法。声波谐振器装置包括具有相对的前表面和后表面的压电板。第一电极和第二电极形成在压电板的前表面上，第一电极和第二电极以及压电板被配置为使得施加在第一电极与第二电极之间的射频信号在压电板中激发剪切主声波模式。第一电极和第二电极具有梯形截面形状。第一电极的至少一个侧表面的侧壁角和第二电极的至少一个侧表面的侧壁角大于或等于70度且小于或等于110度。

公开(公告)号：CN115485971A

公开(公告)日：2022-12-16

申请号：CN202180031854.4

申请日：2021-04-28

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 帕特里克·特纳 ,  尼尔·芬茨 ,  布莱恩特·加西亚 ,  罗伯特·哈蒙德 ,  井上和则

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/00 ,  H03H9/02 ,  H03H9/13 ,  H03H9/17

Abstract: 声波谐振器装置包括附着到基板的压电板。压电板的一部分形成悬置在基板中的空腔上方的振膜。第一导体级包括：第一叉指式换能器(IDT)一级母线和第二IDT一级母线，沿振膜的相对侧设置；以及第一IDT指集合和第二IDT指集合，分别从第一母线和第二母线延伸，其中，第一IDT指集合和第二IDT指集合是交错的并且设置在振膜上。第二导体级包括分别与第一母线和第二母线的至少一部分重叠的第一二级母线和第二二级母线。第一二级母线和第二二级母线的延伸到振膜上的部分具有倒圆角。