RC网络部件中的接触结构
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115485837A

    公开(公告)日:2022-12-16

    申请号:CN202180031086.2

    申请日:2021-03-26

    Abstract: RC网络部件(101)包括基板(102),在基板(102)的一侧(102a)的表面处设置有具有薄膜顶部电极部分(107)的电容器。低欧姆半导体基板(102)被掺杂成对RC网络部件的电阻贡献5%或更少。通过提供通过绝缘层(110)与顶部电极部分(107)间隔开的接触板(109)以及绝缘层(110)中的开口(111)中的一组一个或更多个桥接接触部(108)来控制与电容器串联的电阻。桥接接触部将顶部电极部分(107)和接触板(109)电互连。可以通过对桥接接触部(8)的数目的适当选择来设置不同的电阻值。通过在开口(111)的外围周围的绝缘层(110)中设置厚度减小部分(112a、112b)来减少开口(111)的外围处的温度集中。

    用于高电压应用的电阻器-电容器部件及其制造方法

    公开(公告)号:CN118693062A

    公开(公告)日:2024-09-24

    申请号:CN202410342883.8

    申请日:2024-03-25

    Abstract: 本发明提供了一种电阻器‑电容器部件(200)、电气装置(100)、功率逆变器(800)、用于制造电阻器‑电容器部件(200)的光掩模(700,700′)以及用于制造电阻器‑电容器部件(200)的方法。所提出的电阻器‑电容器部件(200)包括:‑电容器,其至少包括由介电结构(220)分隔的第一电极结构(210)和第二电极结构(230);‑在第二电极结构(230)上的绝缘层(240),绝缘层(240)包括分布在绝缘层(240)的表面上的接触孔(241),接触孔(241)中的每一个界定具有波纹状边缘的在第二电极结构(230)上的开口;以及‑在绝缘层(240)上的导电层(250),并且导电层(250)填充接触孔(241)以与第二电极结构(230)形成电接触部(251)。

    RC网络部件中的接触部结构
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115335993A

    公开(公告)日:2022-11-11

    申请号:CN202180024245.6

    申请日:2021-03-26

    Abstract: RC网络部件(101)包括基板(102),在基板(102)的一侧(102a)上的表面处设置有具有薄膜顶部电极部分(107)的电容器。低欧姆半导体基板(102)被掺杂成对RC网络部件的电阻贡献5%或更少。通过提供通过绝缘层(110)与薄膜顶部电极部分(107)间隔开的接触板(109)以及穿过绝缘层(110)中的开口(111)的一组一个或更多个桥接接触部(108)来控制与电容器串联设置的电阻。桥接接触部将薄膜顶部电极部分(107)和接触板(109)电互连。可以通过对桥接接触部(8)的数目的适当选择来设置不同的电阻值。开口(111)是细长的,从而减少它们外围的温度集中。相应地,桥接接触部(8)具有细长的截面形状。

    分布式RC端接
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110945663A

    公开(公告)日:2020-03-31

    申请号:CN201880047819.X

    申请日:2018-07-16

    Abstract: 公开了一种集成电阻器-电容器(RC)结构(400)。该集成RC结构包括竖直电容器(302,402,306)以及设置在电容器上方的电阻元件(308,310)。该集成RC结构使用低欧姆衬底(302)以确保电容器的良好的接地返回路径。此外,衬底的电阻率被配置成使得电容器的顶板(306)提供在预限定频率以上的参考地。电阻元件(308,310)的阻抗相对于参考地被匹配至预定电阻。这样,能够控制电阻元件(308,310)的电阻以提供在工作频率范围内阻抗受控的RC结构。

    分布式RC端接
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110945663B

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN201880047819.X

    申请日:2018-07-16

    Abstract: 公开了一种集成电阻器‑电容器(RC)结构(400)。该集成RC结构包括竖直电容器(302,402,306)以及设置在电容器上方的电阻元件(308,310)。该集成RC结构使用低欧姆衬底(302)以确保电容器的良好的接地返回路径。此外,衬底的电阻率被配置成使得电容器的顶板(306)提供在预限定频率以上的参考地。电阻元件(308,310)的阻抗相对于参考地被匹配至预定电阻。这样,能够控制电阻元件(308,310)的电阻以提供在工作频率范围内阻抗受控的RC结构。

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