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公开(公告)号：CN117059545A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202310405225.4
申请日：2023-04-17
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01L21/68 , H01L21/67 , H01J37/20 , H01J37/244
Abstract: 本发明提供一种能够抑制姿态误差且能够进行高速定位的载置台装置、以及使用了该载置台装置的带电粒子束装置和真空装置。载置台装置包括：用于设置定位的对象物的试样设置部；用于测量试样设置部在铅垂方向上的位移的标尺板；和支承标尺板的下轴载物台，在标尺板与下轴载物台之间设置有自由的支承部。
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公开(公告)号：CN116092905A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202211239709.8
申请日：2022-10-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种载置台装置和具备载置台装置的带电粒子束装置，能够在悬浮型载置台中确保样品的足够的位置精度。载置台装置(100)包括：在Y轴方向上移动的下层载置台(20)；从下层载置台(20)浮起、至少在与Y轴方向正交的X轴方向上移动的上层载置台(10)；利用冷却介质对下层载置台(20)的Y工作台(2)进行冷却的热交换器；和以被热交换器冷却的Y工作台(2)为基准来控制下层载置台(20)的倾斜的控制装置。
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公开(公告)号：CN100473450C
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200610075329.X
申请日：2006-04-12
Applicant: 株式会社日立高新技术 , 巴布考克日立株式会社
Abstract: 一种流体混合装置，在流体(1)流动的圆筒形流路(11)的内部设有流路直径比流路(11)的内径小的内筒(13)，在内筒(13)内设有由放射状的4个叶片构成的固定旋转翼(15)，在内筒的与流体(1)流经旋转翼时产生的剥离区域相连的壁面外周，设有供给流体(2)的集管空间，在与上述剥离区域相连的内筒的壁面上设有连通上述剥离区域和上述集管空间的开口(16)。被供给集管空间的流体(2)，从开口流入流体(1)在流经旋转翼时沿着旋转翼的下游面形成的剥离区域并沿着旋转翼的叶片的方向分散，然后与受到旋转翼的旋转力的流体(1)旋转混合。由此可极力地抑制流体(1)的压力损失，能够在小的空间内将流体(1、2)均匀混合。
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公开(公告)号：CN1864835A
公开(公告)日：2006-11-22
申请号：CN200610075329.X
申请日：2006-04-12
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立高新技术 , 巴布考克日立株式会社
Abstract: 一种流体混合装置，在流体(1)流动的圆筒形流路(11)的内部设有流路直径比流路(11)的内径小的内筒(13)，在内筒(13)内设有由放射状的4个叶片构成的固定旋转翼(15)，在内筒的与流体(1)流经旋转翼时产生的剥离区域相连的壁面外周，设有供给流体(2)的集管空间，在与上述剥离区域相连的内筒的壁面上设有连通上述剥离区域和上述集管空间的开口(16)。被供给集管空间的流体(2)，从开口流入流体(1)在流经旋转翼时沿着旋转翼的下游面形成的剥离区域并沿着旋转翼的叶片的方向分散，然后与受到旋转翼的旋转力的流体(1)旋转混合。由此可极力地抑制流体(1)的压力损失，能够在小的空间内将流体(1、2)均匀混合。
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