公开(公告)号：CN116453923A

公开(公告)日：2023-07-18

申请号：CN202310019617.7

申请日：2023-01-06

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 高桥宗大 ,  水落真树 ,  山本来布 ,  安藤康大

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明提供载置台装置、带电粒子线装置和真空装置，其目的在于，在真空环境下，抑制从接触式的引导要件飞散的引导件异物在对象物附着。载置台装置真空环境下配置，使载置的对象物移动，包括：在基台(102)铺设的导轨(201)；沿导轨(201)移动的滑架(202)；与导轨(201)和滑架(202)接触，伴随滑架(202)的移动而旋转的滚动体；与滑架(202)的一部分连接，和滑架(202)一起移动的工作台(101)；和以覆盖导轨(201)的引导面的法线方向(304)的方式设置，遮蔽从导轨(201)、滑架(202)或滚动体飞散的异物的遮蔽罩(502)。

公开(公告)号：CN116092905A

公开(公告)日：2023-05-09

申请号：CN202211239709.8

申请日：2022-10-11

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 西冈明 ,  高桥宗大 ,  水落真树 ,  安藤康大 ,  山本来布

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

Abstract: 本发明提供一种载置台装置和具备载置台装置的带电粒子束装置，能够在悬浮型载置台中确保样品的足够的位置精度。载置台装置(100)包括：在Y轴方向上移动的下层载置台(20)；从下层载置台(20)浮起、至少在与Y轴方向正交的X轴方向上移动的上层载置台(10)；利用冷却介质对下层载置台(20)的Y工作台(2)进行冷却的热交换器；和以被热交换器冷却的Y工作台(2)为基准来控制下层载置台(20)的倾斜的控制装置。