公开(公告)号：CN116072491A

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN202211239681.8

申请日：2022-10-11

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 小川博纪 ,  水落真树 ,  高桥宗大 ,  加藤孝宜

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J37/26

Abstract: 本发明提供了能够准确且高速地定位顶台相对于镜筒的位置的平台装置以及具有该平台装置的带电粒子束装置。本发明所涉及的带电粒子束装置包括第一移动台以及配置在所述第一移动台的上方的第二移动台，测量样品室和所述第一移动台之间的第一相对位置、所述样品室和第二移动台之间的第二相对位置以及所述镜筒和所述样品之间的第三相对位置，根据所述第一相对位置和所述第二相对位置，校正所述第一移动台和所述第二移动台之间的相对位置。

公开(公告)号：CN116913804A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202310384281.4

申请日：2023-04-12

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 加藤孝宜 ,  水落真树 ,  高桥宗大 ,  小川博纪

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  G01B11/00

Abstract: 本发明提供一种载物台装置、带电粒子束装置以及光学式检查装置，能够降低伴随下方的工作台的旋转振动的浮起载物台(上方的工作台)的残留振动，能够提高生产率。该载物台装置具备能够在基座(106)上移动的第一工作台(104)、能够在第一工作台上浮起并移动具有第一部分和比第一部分靠下方的第二部分的第二工作台(102)、测量第二工作台的第一部分的位置的第一位置测量设备(600)、测量第二工作台的第二部分的位置的第二位置测量设备(300)以及控制驱动第二工作台的马达(200)的计算机(601)。计算机基于关于第一位置测量设备测量出的第一部分的位置的信息和关于第二位置测量设备测量出的第二部分的位置的信息，驱动第二工作台。

公开(公告)号：CN117059545A

公开(公告)日：2023-11-14

申请号：CN202310405225.4

申请日：2023-04-17

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 高桥宗大 ,  水落真树 ,  加藤孝宜 ,  西冈明

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/67 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244

Abstract: 本发明提供一种能够抑制姿态误差且能够进行高速定位的载置台装置、以及使用了该载置台装置的带电粒子束装置和真空装置。载置台装置包括：用于设置定位的对象物的试样设置部；用于测量试样设置部在铅垂方向上的位移的标尺板；和支承标尺板的下轴载物台，在标尺板与下轴载物台之间设置有自由的支承部。

公开(公告)号：CN118841361A

公开(公告)日：2024-10-25

申请号：CN202410365839.9

申请日：2024-03-28

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 高桥宗大 ,  水落真树 ,  山本来布 ,  细渕启一郎 ,  加藤孝宜

IPC: H01L21/687 ,  H02N15/00 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明提供载台装置，在磁悬浮型的载台装置中能有效地抑制伴随着驱动的振动的同时进行高速的定位、且泄露磁场小。载台装置具备支承进行定位的对象物的支承载台、和通过磁使该支承载台悬浮并定位的悬浮机构，该载台装置具有：产生所述悬浮机构的第1方向的推力的第1电动机、产生与所述第1方向不同的第2方向的推力的第2电动机、和产生与所述第1方向及所述第2方向不同的第3方向的推力的第3电动机，关于所述第1电动机、所述第2电动机和所述第3电动机，与各所述电动机对应的非悬浮侧的各磁轭共有相同构件而一体地构成，将共有所述相同构件而一体地构成的各磁轭配置在工作台的所述第2方向的两端，将所述第1方向的边相对于所述工作台固定。