-
公开(公告)号：CN118841361A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202410365839.9
申请日：2024-03-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01L21/687 , H02N15/00 , H01L21/68
Abstract: 本发明提供载台装置，在磁悬浮型的载台装置中能有效地抑制伴随着驱动的振动的同时进行高速的定位、且泄露磁场小。载台装置具备支承进行定位的对象物的支承载台、和通过磁使该支承载台悬浮并定位的悬浮机构，该载台装置具有：产生所述悬浮机构的第1方向的推力的第1电动机、产生与所述第1方向不同的第2方向的推力的第2电动机、和产生与所述第1方向及所述第2方向不同的第3方向的推力的第3电动机，关于所述第1电动机、所述第2电动机和所述第3电动机，与各所述电动机对应的非悬浮侧的各磁轭共有相同构件而一体地构成，将共有所述相同构件而一体地构成的各磁轭配置在工作台的所述第2方向的两端，将所述第1方向的边相对于所述工作台固定。
Search Results
1
records
(took 0.018 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
