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公开(公告)号：CN101807007A
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN201010115737.X
申请日：2010-02-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G03F7/20 , G02F1/1333
Abstract: 本发明的课题是在液晶曝光装置中提供组装平台时容易定位的构造。本发明提供一种液晶曝光装置，具有：搭载工件的工件台、具有该工件台的移动机构的可动平台、具有该可动平台的移动机构的固定平台、和支持对所述工件台上的工件曝光掩膜图形的曝光单元的门架部，其中，固定所述门架部的固定平台具有在与所述可动平台的移动方向成直角的方向上可分割为多个的构造。
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公开(公告)号：CN1808121A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200510135738.X
申请日：2005-12-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: B01L3/502753 , B01L3/502723 , B01L3/502738 , B01L7/00 , B01L2200/10 , B01L2200/16 , B01L2300/0672 , B01L2300/0681 , B01L2300/0816 , B01L2300/0867 , B01L2300/087 , B01L2400/0406 , B01L2400/0409 , B01L2400/0688 , B01L2400/0694
Abstract: 本发明提供构造简单的盒和采用该盒的化学分析装置。本发明的化学分析装置，具有马达、可借助马达旋转的保持盘、配置在保持盘上的若干个检查盒、将检查盒穿孔的穿孔机、加温装置和检测装置。检查盒包含有基板，该基板具有由凹部形成的容器及流路。在基板上安装着覆盖该容器及流路的罩。利用保持盘的旋转产生的离心力，使溶液从旋转轴线内周侧的容器经过流路朝着旋转轴线外周侧的容器移动。
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公开(公告)号：CN100565207C
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200510091575.X
申请日：2005-08-23
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: B01L7/52 , B01L3/502715 , B01L3/502723 , B01L3/502753 , B01L2200/10 , B01L2200/16 , B01L2300/0654 , B01L2300/0816 , B01L2300/1822 , B01L2300/1844 , B01L2400/0406 , B01L2400/0409 , G01N2035/00356 , G01N2035/00495
Abstract: 化学分析装置中包括：把与试样反应的试剂加以保持的结构体。把与试剂反应后的试样加以检测的检测机构。在结构体中，提取试样中的生物物质后，或在提取的中途，把结构体的周围空间内流体控制到酶的合适温度。
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公开(公告)号：CN101713931B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200910204607.0
申请日：2009-09-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种曝光装置和液晶曝光方法，所述曝光装置能够加强加工和输送容易的分割状态的台架在组装中的连接强度，且该曝光装置容易组装，或者即使组装后也能够容易地调整从分割状态组装后的部位。设有中空的连接工作台，该连接工作台连接构成台架的多个工作台并具有四棱柱结构，在连接面上设置突起部并插入对方侧的工作台，并且从工作台的上表面操作所述突起部的位置。另外，调节设置在所述连接面上的空气储存室中的空气量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102375346A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110221578.6
申请日：2011-08-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G03F7/20 , G02F1/1333
Abstract: 在曝光装置中将基板接触支撑于卡盘这一方法，有可能会因附着于基板的尘埃而发生仿照基板保持形状的“里面转印”，或者因基板与卡盘的接触顺序等而在基板上发生皱折等使平坦度受损，发生曝光不良。为此，设置在卡盘上利用空气力使基板进行浮起的部件，通过以非接触方式保持基板，就能够防止有可能因接触状态而发生的平坦度的损害和皱折的发生，将曝光图案在基板上高精度地进行曝光。另外，通过设置恒温(定温)部件，就能够防止使其浮起的基板的温度变化(上升)，所以不会有基板的浮起曝光所导致的逊色。
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公开(公告)号：CN1800858A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200510135739.4
申请日：2005-12-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G01N21/07 , G01N35/025 , G01N2035/00148 , G01N2035/00495 , Y10T436/11 , Y10T436/111666 , Y10T436/25
Abstract: 本发明提供结构简单的盒和采用该盒的化学分析装置。化学分析装置具有马达、借助马达可旋转的保持盘、配置在保持盘上的若干个检查盒、对检查盒穿孔用的穿孔机、加温装置和检测装置。检查盒包含有基板，该基板具有由凹部形成的容器和流路，在基板上安装着覆盖容器和流路的罩。利用保持盘旋转产生的离心力，使溶液从旋转轴线内周侧的容器经流路朝旋转轴线外周侧的容器移动。
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公开(公告)号：CN101807007B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201010115737.X
申请日：2010-02-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G03F7/20 , G02F1/1333
Abstract: 本发明的课题是在液晶曝光装置中提供组装平台时容易定位的构造。本发明提供一种液晶曝光装置，具有：搭载工件的工件台、具有该工件台的移动机构的可动平台、具有该可动平台的移动机构的固定平台、和支持对所述工件台上的工件曝光掩膜图形的曝光单元的门架部，其中，固定所述门架部的固定平台具有在与所述可动平台的移动方向成直角的方向上可分割为多个的构造。
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公开(公告)号：CN101713931A
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200910204607.0
申请日：2009-09-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种曝光装置和液晶曝光方法，所述曝光装置能够加强加工和输送容易的分割状态的台架在组装中的连接强度，且该曝光装置容易组装，或者即使组装后也能够容易地调整从分割状态组装后的部位。设有中空的连接工作台，该连接工作台连接构成台架的多个工作台并具有四棱柱结构，在连接面上设置突起部并插入对方侧的工作台，并且从工作台的上表面操作所述突起部的位置。另外，调节设置在所述连接面上的空气储存室中的空气量。
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公开(公告)号：CN1755371A
公开(公告)日：2006-04-05
申请号：CN200510091575.X
申请日：2005-08-23
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: B01L7/52 , B01L3/502715 , B01L3/502723 , B01L3/502753 , B01L2200/10 , B01L2200/16 , B01L2300/0654 , B01L2300/0816 , B01L2300/1822 , B01L2300/1844 , B01L2400/0406 , B01L2400/0409 , G01N2035/00356 , G01N2035/00495
Abstract: 化学分析装置中包括：把与试样反应的试剂加以保持的结构体。把与试剂反应后的试样加以检测的检测机构。在结构体中，提取试样中的生物物质后，或在提取的中途，把结构体的周围空间内流体控制到酶的合适温度。
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