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公开(公告)号：CN100382870C
公开(公告)日：2008-04-23
申请号：CN01823942.0
申请日：2001-12-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G01N35/025 , B01L3/502738 , B01L2200/0621 , B01L2300/0636 , B01L2300/0816 , B01L2400/0409 , B01L2400/0622 , B01L2400/0694 , G01N21/07 , G01N35/1079 , G01N2035/00504 , G01N2035/0449 , G01N2035/0451 , Y10T436/111666
Abstract: 本发明中不在试剂流路中设置控制试剂流量的阀而由离心力供给试剂。所使用的化学分析装置具有可转动地支承着的分析装置，在该分析装置内具有捕集试样中的特定的化学物质的捕集部、试样容器、与包括洗涤液容器的试剂容器。洗涤液容器，其他试剂容器具有设在与转动中心侧相反对一侧的液体出口；前述捕集部由前述分析装置保持于比其他试剂容器与洗涤液容器还靠外周侧；并设置具有在某一阶段阻止液体从洗涤液容器向前述捕集部的流动，在其他阶段随着分析装置的转动由离心力形成流体流动的返回转动中心侧的弯曲流路部分的流路。
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公开(公告)号：CN101713931B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200910204607.0
申请日：2009-09-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种曝光装置和液晶曝光方法，所述曝光装置能够加强加工和输送容易的分割状态的台架在组装中的连接强度，且该曝光装置容易组装，或者即使组装后也能够容易地调整从分割状态组装后的部位。设有中空的连接工作台，该连接工作台连接构成台架的多个工作台并具有四棱柱结构，在连接面上设置突起部并插入对方侧的工作台，并且从工作台的上表面操作所述突起部的位置。另外，调节设置在所述连接面上的空气储存室中的空气量。
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公开(公告)号：CN102375346A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110221578.6
申请日：2011-08-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G03F7/20 , G02F1/1333
Abstract: 在曝光装置中将基板接触支撑于卡盘这一方法，有可能会因附着于基板的尘埃而发生仿照基板保持形状的“里面转印”，或者因基板与卡盘的接触顺序等而在基板上发生皱折等使平坦度受损，发生曝光不良。为此，设置在卡盘上利用空气力使基板进行浮起的部件，通过以非接触方式保持基板，就能够防止有可能因接触状态而发生的平坦度的损害和皱折的发生，将曝光图案在基板上高精度地进行曝光。另外，通过设置恒温(定温)部件，就能够防止使其浮起的基板的温度变化(上升)，所以不会有基板的浮起曝光所导致的逊色。
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公开(公告)号：CN101807007B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201010115737.X
申请日：2010-02-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G03F7/20 , G02F1/1333
Abstract: 本发明的课题是在液晶曝光装置中提供组装平台时容易定位的构造。本发明提供一种液晶曝光装置，具有：搭载工件的工件台、具有该工件台的移动机构的可动平台、具有该可动平台的移动机构的固定平台、和支持对所述工件台上的工件曝光掩膜图形的曝光单元的门架部，其中，固定所述门架部的固定平台具有在与所述可动平台的移动方向成直角的方向上可分割为多个的构造。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101713931A
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200910204607.0
申请日：2009-09-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种曝光装置和液晶曝光方法，所述曝光装置能够加强加工和输送容易的分割状态的台架在组装中的连接强度，且该曝光装置容易组装，或者即使组装后也能够容易地调整从分割状态组装后的部位。设有中空的连接工作台，该连接工作台连接构成台架的多个工作台并具有四棱柱结构，在连接面上设置突起部并插入对方侧的工作台，并且从工作台的上表面操作所述突起部的位置。另外，调节设置在所述连接面上的空气储存室中的空气量。
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公开(公告)号：CN1808120A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200510135740.7
申请日：2005-12-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: B01F11/0071 , B01F13/0059 , B01L3/5027 , B01L3/502715 , B01L3/50273 , B01L2300/0816 , B01L2300/0867 , B01L2300/087 , B01L2300/1816 , B01L2400/0409 , B01L2400/0442 , B01L2400/0475 , G01N21/0332 , G01N21/07 , G01N21/645 , G01N2021/0325 , G01N2035/00148 , G01N2035/00495 , G01N2035/00534 , Y10T436/111666
Abstract: 本发明的目的是提供搅拌和加温都容易的化学分析装置。化学分析装置具有马达、借助马达可旋转的保持盘、配置在保持盘上的若干个检查盒、对检查盒穿孔的穿孔机、加温装置和检测装置。检查盒含有基板，该基板具有由凹部形成的容器和流路。在基板上安装着覆盖容器和流路的罩。利用保持盘旋转产生的离心力，使溶液从旋转轴线内周侧的容器经过流路朝着旋转轴线外周侧的容器移动。在检查盒上设有用于搅拌容器内溶液的搅拌机构、和加温容器内溶液的加温机构。
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公开(公告)号：CN1582191A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN01823942.0
申请日：2001-12-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G01N35/025 , B01L3/502738 , B01L2200/0621 , B01L2300/0636 , B01L2300/0816 , B01L2400/0409 , B01L2400/0622 , B01L2400/0694 , G01N21/07 , G01N35/1079 , G01N2035/00504 , G01N2035/0449 , G01N2035/0451 , Y10T436/111666
Abstract: 本发明中不在试剂流路中设置控制试剂流量的阀而由离心力供给试剂。所使用的化学分析装置具有可转动地支承着的构造体，在该构造体内具有捕集试样中的特定的化学物质的捕集部、试样容器、与包括洗涤液容器的试剂容器。洗涤液容器，其他试剂容器具有设在与转动中心侧相反对一侧的液体出口；前述捕集部由前述构造体保持于比其他试剂容器与洗涤液容器还靠外周侧；并设置具有在某一阶段阻止液体从洗涤液容器向前述捕集部的流动，在其他阶段随着构造体的转动由离心力形成流体流动的返回转动中心侧的弯曲流路部分的流路。
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公开(公告)号：CN101807007A
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN201010115737.X
申请日：2010-02-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G03F7/20 , G02F1/1333
Abstract: 本发明的课题是在液晶曝光装置中提供组装平台时容易定位的构造。本发明提供一种液晶曝光装置，具有：搭载工件的工件台、具有该工件台的移动机构的可动平台、具有该可动平台的移动机构的固定平台、和支持对所述工件台上的工件曝光掩膜图形的曝光单元的门架部，其中，固定所述门架部的固定平台具有在与所述可动平台的移动方向成直角的方向上可分割为多个的构造。
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公开(公告)号：CN1551982A
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：CN02814706.5
申请日：2002-05-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G01N35/025 , B01L3/50273 , B01L3/502738 , B01L3/502753 , B01L2200/0621 , B01L2200/10 , B01L2300/0803 , B01L2300/0861 , B01L2400/0409 , B01L2400/0694 , G01N35/00069 , G01N2035/00504 , G01N2035/0436
Abstract: 用于从包含多种化学物质的试样中提取诸如核酸之类的特定化学物质的化学分析设备，能够通过阀门消除其中残留的液体，该阀门用于控制液体的流动并防止前步骤的试剂污染后续步骤的试剂，其中，在试剂流动路径中设有安装控制液体流动的阀门的条件下，恒量的溶液被保持并通过离心力被供给。采用穿孔器(13)开孔使得通风孔(272，273，274)的盖子与分析盘(2)中的检测容器(450)和废液容器(460)和(470)相通，分析盘(2)被旋转以实现供给和固定量试样的保持。
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