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公开(公告)号：CN104380426B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201380033422.2
申请日：2013-06-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/184 , H01J2237/2001 , H01J2237/2002 , H01J2237/20207
Abstract: 在现有的试料冷却支架中，若试料的朝向变换则冷却源容器也一同倾斜，而容纳的冷却源产生起泡。因此，提供一种试料冷却支架(13)，其具有机构(14、15、17、18)，该机构即使在使试料(1)向适于加工或者观察的朝向倾斜，也能够一边沿恒定方向保持冷却源容器的姿势一边冷却试料部空气对保持冷却源的内侧容器(23)进行真空绝热的外侧容器(21)安装有真空保持机构(24、25)。(1)。另外，提供一种冷却源容器，其在相对于外
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105474348B
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201480045594.6
申请日：2014-09-18
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/18 , F25B19/005 , F25B45/00 , H01J2237/002 , H01J2237/022 , H01J2237/028 , H01J2237/182 , H01J2237/2001 , H01J2237/2002
Abstract: 本发明提供防污染阱以及真空应用装置，在现有构造中将双重的冷却罐之间真空隔热，通过与内侧容器连接的高导热率材料来对冷却部进行冷却。在这样的构造中，也有由于高导热率材料、针对冷却部的浸入热而造成的影响，但例如在制冷剂使用了液体氮的情况下，约需要30分钟到达－120℃。即使花费了时间的情况下，也就是－150℃前后的到达温度，远远不及液体氮温度的－196℃。因此，在本发明的防污染阱以及真空应用装置中，其特征在于，是在真空应用装置中冷却装置内冷却部(5)的构造，具有装有对冷却部(5)进行冷却的制冷剂(2)的冷却罐(1)、和从上述冷却罐(1)到冷却部(5)附近的冷却管(7)，制冷剂(2)被供给到冷却部(5)前端。并且，其特征在于，将用于释放冷却管内气泡(10)的管(8)插入到冷却部(5)。
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公开(公告)号：CN108885962B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201680066784.5
申请日：2016-11-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 一种带电粒子束装置，其可以在使用制冷剂的真空应用装置内的冷却部中维持温度。该带电粒子束装置具备：冷却箱(1)，其收纳对冷却部(5)进行冷却的制冷剂(2)；冷却管(6)，其将制冷剂(2)从冷却箱(1)供给至冷却部(5)；以及在制冷剂(2)偏向于固体的情况下，引导该制冷剂(2)液化的单元。
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公开(公告)号：CN105474348A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201480045594.6
申请日：2014-09-18
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/18 , F25B19/005 , F25B45/00 , H01J2237/002 , H01J2237/022 , H01J2237/028 , H01J2237/182 , H01J2237/2001 , H01J2237/2002
Abstract: 本发明提供防污染阱以及真空应用装置，在现有构造中将双重的冷却罐之间真空隔热，通过与内侧容器连接的高导热率材料来对冷却部进行冷却。在这样的构造中，也有由于高导热率材料、针对冷却部的浸入热而造成的影响，但例如在制冷剂使用了液体氮的情况下，约需要30分钟到达－120℃。即使花费了时间的情况下，也就是－150℃前后的到达温度，远远不及液体氮温度的－196℃。因此，在本发明的防污染阱以及真空应用装置中，其特征在于，是在真空应用装置中冷却装置内冷却部(5)的构造，具有装有对冷却部(5)进行冷却的制冷剂(2)的冷却罐(1)、和从上述冷却罐(1)到冷却部(5)附近的冷却管(7)，制冷剂(2)被供给到冷却部(5)前端。并且，其特征在于，将用于释放冷却管内气泡(10)的管(8)插入到冷却部(5)。
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公开(公告)号：CN108885962A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201680066784.5
申请日：2016-11-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 一种带电粒子束装置，其可以在使用制冷剂的真空应用装置内的冷却部中维持温度。该带电粒子束装置具备：冷却箱(1)，其收纳对冷却部(5)进行冷却的制冷剂(2)；冷却管(6)，其将制冷剂(2)从冷却箱(1)供给至冷却部(5)；以及在制冷剂(2)偏向于固体的情况下，引导该制冷剂(2)液化的单元。
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公开(公告)号：CN104380426A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201380033422.2
申请日：2013-06-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/184 , H01J2237/2001 , H01J2237/2002 , H01J2237/20207
Abstract: 在现有的试料冷却支架中，若试料的朝向变换则冷却源容器也一同倾斜，而容纳的冷却源产生起泡。因此，提供一种试料冷却支架(13)，其具有机构(14、15、17、18)，该机构即使在使试料(1)向适于加工或者观察的朝向倾斜，也能够一边沿恒定方向保持冷却源容器的姿势一边冷却试料(1)。另外，提供一种冷却源容器，其在相对于外部空气对保持冷却源的内侧容器(23)进行真空绝热的外侧容器(21)安装有真空保持机构(24、25)。
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