公开(公告)号：CN108885962B

公开(公告)日：2020-08-14

申请号：CN201680066784.5

申请日：2016-11-29

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 砂押毅志 ,  生赖义久 ,  波多野治彦 ,  水尾考志

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/28

Abstract: 一种带电粒子束装置，其可以在使用制冷剂的真空应用装置内的冷却部中维持温度。该带电粒子束装置具备：冷却箱(1)，其收纳对冷却部(5)进行冷却的制冷剂(2)；冷却管(6)，其将制冷剂(2)从冷却箱(1)供给至冷却部(5)；以及在制冷剂(2)偏向于固体的情况下，引导该制冷剂(2)液化的单元。

公开(公告)号：CN108885962A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201680066784.5

申请日：2016-11-29

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 砂押毅志 ,  生赖义久 ,  波多野治彦 ,  水尾考志

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/28

Abstract: 一种带电粒子束装置，其可以在使用制冷剂的真空应用装置内的冷却部中维持温度。该带电粒子束装置具备：冷却箱(1)，其收纳对冷却部(5)进行冷却的制冷剂(2)；冷却管(6)，其将制冷剂(2)从冷却箱(1)供给至冷却部(5)；以及在制冷剂(2)偏向于固体的情况下，引导该制冷剂(2)液化的单元。