公开(公告)号：CN105474348A

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201480045594.6

申请日：2014-09-18

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 水尾考志 ,  丹波裕介 ,  波多野治彦 ,  二村和孝

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/18 ,  F25B19/005 ,  F25B45/00 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/028 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002

Abstract: 本发明提供防污染阱以及真空应用装置，在现有构造中将双重的冷却罐之间真空隔热，通过与内侧容器连接的高导热率材料来对冷却部进行冷却。在这样的构造中，也有由于高导热率材料、针对冷却部的浸入热而造成的影响，但例如在制冷剂使用了液体氮的情况下，约需要30分钟到达－120℃。即使花费了时间的情况下，也就是－150℃前后的到达温度，远远不及液体氮温度的－196℃。因此，在本发明的防污染阱以及真空应用装置中，其特征在于，是在真空应用装置中冷却装置内冷却部(5)的构造，具有装有对冷却部(5)进行冷却的制冷剂(2)的冷却罐(1)、和从上述冷却罐(1)到冷却部(5)附近的冷却管(7)，制冷剂(2)被供给到冷却部(5)前端。并且，其特征在于，将用于释放冷却管内气泡(10)的管(8)插入到冷却部(5)。

公开(公告)号：CN105474348B

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201480045594.6

申请日：2014-09-18

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 水尾考志 ,  丹波裕介 ,  波多野治彦 ,  二村和孝

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16

CPC classification number: H01J37/18 ,  F25B19/005 ,  F25B45/00 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/028 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002

Abstract: 本发明提供防污染阱以及真空应用装置，在现有构造中将双重的冷却罐之间真空隔热，通过与内侧容器连接的高导热率材料来对冷却部进行冷却。在这样的构造中，也有由于高导热率材料、针对冷却部的浸入热而造成的影响，但例如在制冷剂使用了液体氮的情况下，约需要30分钟到达－120℃。即使花费了时间的情况下，也就是－150℃前后的到达温度，远远不及液体氮温度的－196℃。因此，在本发明的防污染阱以及真空应用装置中，其特征在于，是在真空应用装置中冷却装置内冷却部(5)的构造，具有装有对冷却部(5)进行冷却的制冷剂(2)的冷却罐(1)、和从上述冷却罐(1)到冷却部(5)附近的冷却管(7)，制冷剂(2)被供给到冷却部(5)前端。并且，其特征在于，将用于释放冷却管内气泡(10)的管(8)插入到冷却部(5)。