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公开(公告)号:CN119229436A
公开(公告)日:2024-12-31
申请号:CN202410821890.6
申请日:2024-06-24
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供评价方法、搜索方法以及搜索系统。目的在于,提供用于评价截面图像中出现的形状的技术。代表性的本发明的评价方法之一评价目标形状与电子显微镜图像的截面形状之差,评价方法的特征在于,具有:第一步骤,测定所述截面形状的特征性的尺寸;第二步骤,在所述第一步骤后,作成从所述尺寸得到的所述截面形状中的所述目标形状的模板;和第三步骤,通过归一化的指标来比较所述模板与所述截面形状的差异。