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公开(公告)号：CN101336490B
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200680052148.3
申请日：2006-02-09
申请人： 株式会社日立制作所
CPC分类号： H01L27/101 , G11C13/0004 , G11C13/0011 , G11C2213/79 , H01L27/0688 , H01L27/2436 , H01L27/2472 , H01L45/085 , H01L45/1233 , H01L45/1266 , H01L45/142 , H01L45/146 , H01L45/1625 , H01L45/1675
摘要： 一种半导体器件，在嵌入了塞(35)的绝缘膜(31)上按顺序形成有由第一组成物和第二组成物构成的第二组成物释放区域(45)、由硫属化合物构成的固体电解质区域(46)和上部电极(47)。由第一组成物和第二组成物构成的第二组成物释放区域(45)由圆顶状的电极部分(43)和将电极部分(43)的周围嵌入的绝缘膜(44)构成，在塞(35)上存在着至少1个电极部分(43)。电极部分(43)包括由如氧化钽那样的即使施加电场也仍然稳定的第一组成物构成的第一部分和由如铜或银那样的通过施加电场很容易向固体电解质区域(46)扩散并移动的第二组成物构成的第二部分。通过使从电极部分(43)供给的第二组成物在固体电解质区域(46)中移动来存储信息。
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公开(公告)号：CN101552321A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200910007170.1
申请日：2009-02-13
申请人： 株式会社日立制作所
IPC分类号： H01L45/00 , H01L27/24 , H01L21/8239
CPC分类号： H01L45/085 , H01L27/2436 , H01L27/2463 , H01L45/1233 , H01L45/1266 , H01L45/147 , H01L45/1625 , H01L45/1641
摘要： 固体电解质存储器存在因反复重写导致固体电解质中的离子A量及电极的形状发生变化，因此难以稳定地重写的问题。本发明提供一种半导体装置，所述半导体装置利用固体电解质层的电阻变化来存储信息或者使电路连接发生变化，其中，使固体电解质层的组成为例如Cu－Ta－S，与其邻接或接近的离子供给层的组成为Cu－Ta－O，由离子供给层供给的离子在固体电解质层内形成导电通路，从而根据电阻高低存储信息，通过施加电脉冲，能够使电阻发生变化。上述离子供给层是具有例如Cu－Ta－O＝1∶2∶6的组成比的结晶，能够稳定地进行重写动作。
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公开(公告)号：CN101364634A
公开(公告)日：2009-02-11
申请号：CN200810128199.0
申请日：2008-07-22
申请人： 株式会社日立制作所
CPC分类号： G11C11/5614 , G11C13/0011 , G11C13/0069 , G11C2013/0083 , G11C2213/11 , G11C2213/15 , G11C2213/56 , G11C2213/79 , H01L27/24 , H01L27/2436 , H01L27/2463 , H01L45/085 , H01L45/141 , H01L45/142 , H01L45/143 , H01L45/144 , H01L45/1675
摘要： 本发明的课题在于提高可存储信息的半导体装置的性能。本发明由下部电极BE侧的第1层ML1和上部电极TE侧的第2层ML2形成存储器元件RM的存储层ML。第1层ML1含有20原子％以上70原子％以下由Cu，Ag，Au，Al，Zn，Cd组成的第1元素组中的至少1种，含有3原子％以上40原子％以下由V，Nb，Ta，Cr，Mo，W，Ti，Zr，Hf，Fe，Co，Ni，Pt，Pd，Rh，Ir，Ru，Os，镧系元素组成的第2元素组中的至少1种，含有20原子％以上60原子％以下由S，Se，Te组成的第3元素组中的至少1种。第2层ML2含有5原子％以上50原子％以下第1元素组中的至少1种，含有10原子％以上50原子％以下第2元素组中的至少1种，含有30原子％以上70原子％以下的氧。
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公开(公告)号：CN100413075C
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN200410071440.2
申请日：2004-03-03
申请人： 株式会社日立制作所
CPC分类号： G11C11/5678 , G11C13/0004 , G11C2213/79 , H01L27/2436 , H01L27/2454 , H01L27/2463 , H01L45/06 , H01L45/1213 , H01L45/1233 , H01L45/1253 , H01L45/126 , H01L45/144 , H01L45/1625
摘要： 提供一种存储装置，是由使用了存储元阵和选择晶体管的存储单元构成的相变存储装置，具有可在130度以上工作的高耐热性。作为该装置的结构，在记录层上使用Zn-Ge-Te的Zn或Cd等的含量≥25原子%、Ge的含量≥5原子%且≤25原子%、Te的含量≥40原子%的材料。这样，能够实现用于车载用途等有可能变为高温的用途中的存储装置。
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公开(公告)号：CN1571160A
公开(公告)日：2005-01-26
申请号：CN200410071440.2
申请日：2004-03-03
申请人： 株式会社日立制作所
CPC分类号： G11C11/5678 , G11C13/0004 , G11C2213/79 , H01L27/2436 , H01L27/2454 , H01L27/2463 , H01L45/06 , H01L45/1213 , H01L45/1233 , H01L45/1253 , H01L45/126 , H01L45/144 , H01L45/1625
摘要： 提供一种存储装置，是由使用了存储元件和选择晶体管的存储单元构成的相变存储装置，具有可在130度以上工作的高耐热性。作为该装置的结构，在记录层上使用Zn－Ge－Te的Zn或Cd等的含量≥25原子％、Ge的含量≥5原子％且≤25原子％、Te的含量≥40原子％的材料。这样，能够实现用于车载用途等有可能变为高温的用途中的存储装置。
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公开(公告)号：CN101364634B
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200810128199.0
申请日：2008-07-22
申请人： 株式会社日立制作所
CPC分类号： G11C11/5614 , G11C13/0011 , G11C13/0069 , G11C2013/0083 , G11C2213/11 , G11C2213/15 , G11C2213/56 , G11C2213/79 , H01L27/24 , H01L27/2436 , H01L27/2463 , H01L45/085 , H01L45/141 , H01L45/142 , H01L45/143 , H01L45/144 , H01L45/1675
摘要： 本发明的课题在于提高可存储信息的半导体装置的性能。本发明由下部电极BE侧的第1层ML1和上部电极TE侧的第2层ML2形成存储器元件RM的存储层ML。第1层ML1含有20原子％以上70原子％以下由Cu，Ag，Au，Al，Zn，Cd组成的第1元素组中的至少1种，含有3原子％以上40原子％以下由V，Nb，Ta，Cr，Mo，W，Ti，Zr，Hf，Fe，Co，Ni，Pt，Pd，Rh，Ir，Ru，Os，镧系元素组成的第2元素组中的至少1种，含有20原子％以上60原子％以下由S，Se，Te组成的第3元素组中的至少1种。第2层ML2含有5原子％以上50原子％以下第1元素组中的至少1种，含有10原子％以上50原子％以下第2元素组中的至少1种，含有30原子％以上70原子％以下的氧。
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公开(公告)号：CN101336490A
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：CN200680052148.3
申请日：2006-02-09
申请人： 株式会社日立制作所
CPC分类号： H01L27/101 , G11C13/0004 , G11C13/0011 , G11C2213/79 , H01L27/0688 , H01L27/2436 , H01L27/2472 , H01L45/085 , H01L45/1233 , H01L45/1266 , H01L45/142 , H01L45/146 , H01L45/1625 , H01L45/1675
摘要： 一种半导体器件，在嵌入了塞(35)的绝缘膜(31)上按顺序形成有由第一组成物和第二组成物构成的第二组成物释放区域(45)、由硫属化合物构成的固体电解质区域(46)和上部电极(47)。由第一组成物和第二组成物构成的第二组成物释放区域(45)由圆顶状的电极部分(43)和将电极部分(43)的周围嵌入的绝缘膜(44)构成，在塞(35)上存在着至少1个电极部分(43)。电极部分(43)包括由如氧化钽那样的即使施加电场也仍然稳定的第一组成物构成的第一部分和由如铜或银那样的通过施加电场很容易向固体电解质区域(46)扩散并移动的第二组成物构成的第二部分。通过使从电极部分(43)供给的第二组成物在固体电解质区域(46)中移动来存储信息。
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