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公开(公告)号：CN112509940B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202010840506.9
申请日：2020-08-19
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/67 , H01L21/02 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种不需要基准图像也能够判定基板是否被正常地保持的基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置具有：保持部，用于保持基板；拍摄部，用于在包括被保持的基板的外缘部的拍摄范围内对基板的多个部位进行拍摄，并且输出基板的多个图像数据；提取部，用于从多个图像数据之间的差分图像提取基板的外缘部；以及判定部，用于基于差分图像中的基板的外缘部，判定基板的保持状态。
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公开(公告)号：CN110137103B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN201910096770.3
申请日：2019-01-31
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种能够以高于以往的精度利用时序数据进行异常检测的数据处理方法。处理多个单位处理数据的数据处理方法包括：基准数据变更步骤(S300)，变更基准数据(是对每个单位要素从多个单位处理数据中选择出的数据并且是作为各单位处理数据的比较对象的数据)；以及基准数据扩展步骤(S310～S340)，将通过基准数据变更步骤(S300)变更后的基准数据即新基准数据扩展到除了变更了基准数据的单位要素以外的单位要素中。
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公开(公告)号：CN112840438A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201980065740.4
申请日：2019-09-25
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 提供一种能够拍摄喷出到基板的端部的液柱状的处理液的基板处理装置。基板处理装置具有基板保持部20、杯构件40、升降机构44、第一喷嘴31以及相机70。基板保持部20保持基板W并使基板W旋转。杯构件40包围基板保持部20的外周。升降机构44以使杯构件40的上端部位于比基板保持部20保持的基板W高的上端位置的方式，使杯构件40上升。第一喷嘴31在比上端位置低的位置具有喷出口，从喷出口向基板W的端部喷出第一处理液。相机70拍摄从基板W的上方的拍摄位置观察的拍摄区域，该拍摄区域包含从第一喷嘴31的喷出口喷出的第一处理液。
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公开(公告)号：CN112397407A
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN202010771262.3
申请日：2020-08-04
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种能够避开缺口测量基板周边的位置，并高精度地降低基板的偏心量的技术。在第一工序中使基板(W)旋转。在第二工序中，摄像头依次拍摄基板的周边，获取多个图像(IM1)。在第三工序中，针对多个图像执行缺口检测处理。在第四工序中，将在多个图像内沿着第一轴延伸的测量区域(MR1)在第二轴上的位置设定为：测量区域在多个图像的任一个中均不包含缺口(NT1)而包含基板的周边。在第五工序中，针对包含基板的旋转位置和测量区域中的基板的周边的位置的绘图点，进行曲线插值处理求出正弦波。在第六工序中，根据该正弦波求出以缺口的位置为基准的基板的偏心。在第七工序中使基板移动，以降低基板的偏心。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110928265A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201910782458.X
申请日：2019-08-23
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: G05B23/02
Abstract: 一种数据处理方法、装置与系统、以及计算器可读取记录介质，在对多个单位处理数据(各单位处理数据包含多种时间序列数据)进行处理的数据处理方法中，包含：单位处理数据选择步骤，从多个单位处理数据中选择两个以上的单位处理数据；第一评价值计算步骤，算出关于被选择单位处理数据中所含的各时间序列数据的评价值，所述被选择单位处理数据是在单位处理数据选择步骤中所选择的单位处理数据；以及第一评价值分布制作步骤，基于在第一评价值计算步骤中所算出的关于各时间序列数据的评价值，针对每种时间序列数据来制作评价值分布，所述评价值分布表示评价值的每个值的度数。
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公开(公告)号：CN110928250A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201910752319.2
申请日：2019-08-15
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: G05B19/418
Abstract: 本发明的数据处理方法包括如下的步骤：为了对包括一个以上的处理单元的基板处理装置中所获得的时序数据进行处理，对时序数据与基准数据进行比较而求出时序数据的分数；将分数分类成多个等级；以及针对处理单元，显示评估结果画面，所述评估结果画面包括表示分数的各等级的产生比例的曲线图、各等级的产生次数、表示利用规定的方法对基板进行了处理时的分数的最差等级的产生次数的随时间的变化的曲线图。因此，提供一种能够容易地掌握基板处理装置的状态的数据处理方法、数据处理装置及记录有数据处理程序的记录介质。
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公开(公告)号：CN110137103A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910096770.3
申请日：2019-01-31
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种能够以高于以往的精度利用时序数据进行异常检测的数据处理方法。处理多个单位处理数据的数据处理方法包括：基准数据变更步骤(S300)，变更基准数据(是对每个单位要素从多个单位处理数据中选择出的数据并且是作为各单位处理数据的比较对象的数据)；以及基准数据扩展步骤(S310～S340)，将通过基准数据变更步骤(S300)变更后的基准数据即新基准数据扩展到除了变更了基准数据的单位要素以外的单位要素中。
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公开(公告)号：CN110134916A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910096768.6
申请日：2019-01-31
Applicant: 株式会社斯库林集团
IPC: G06F17/18
Abstract: 本发明提供一种能够容易地掌握基板处理装置的状态的数据处理方法。为了处理由具有多个处理单元(25)的基板处理装置(20)得到的时序数据(7)，数据处理方法包括：评价值计算步骤(S102)，通过将时序数据(7)与基准数据(8)进行比较，来求取时序数据(7)的分数(9)；以及结果显示步骤(S107)，显示评价结果画面(50)，评价结果画面(50)针对每个处理单元(25)包括圆图(53)，该圆图(53)用于表示分数(9)异常的基板的张数即分数错误件数(52)以及表示分数错误件数(52)在处理过的基板的张数中的比例。分数错误件数(52)与圆图(53)的显示尺寸根据分数错误件数(52)而变化。
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公开(公告)号：CN120011837A
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202510105204.X
申请日：2021-01-04
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种数据处理方法、数据处理装置以及存储介质。数据处理方法包含获取时间序列数据的步骤、获取评估值的步骤、分类步骤及提取步骤。在获取时间序列数据的步骤中，获取通过基板处理装置获得的多个时间序列数据。在获取评估值的步骤中，获取多个时间序列数据各自的评估值。在分类步骤中，基于评估值，将多个时间序列数据分别分类为多个类别中的任一个。在提取步骤中，提取与多个类别中的任一个对应的时间序列数据来作为提取时间序列数据。
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