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公开(公告)号：CN108139688A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680057221.X
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明提供一种液晶曝光装置，经由投影光学系统(16)以照明光使基板(P)曝光，其具备：保持基板(P)的基板保持具(34)、包含读头单元(60)与标尺(52、56)并根据读头单元(60)的输出取得基板保持具(34)的位置信息的基板编码器系统(50)、以及使基板保持具(34)上的读头单元(60)与标尺(52)中的一方相对于另一方相对移动的驱动部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113890993B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202111144079.1
申请日：2015-09-30
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种电子设备，其包括：使显示部显示第一图像和第二图像的显示控制部，所述第一图像是拍摄入射到拍摄元件的第一区域的光而生成的，所述第二图像是拍摄入射到所述拍摄元件的与所述第一区域不同的第二区域的光而生成的；和选择部，根据所述显示部所显示的所述第一图像和所述第二图像，选择所述第一区域和所述第二区域中要改变拍摄条件的区域。
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公开(公告)号：CN113890993A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202111144079.1
申请日：2015-09-30
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种电子设备，其包括：使显示部显示第一图像和第二图像的显示控制部，所述第一图像是拍摄入射到拍摄元件的第一区域的光而生成的，所述第二图像是拍摄入射到所述拍摄元件的与所述第一区域不同的第二区域的光而生成的；和选择部，根据所述显示部所显示的所述第一图像和所述第二图像，选择所述第一区域和所述第二区域中要改变拍摄条件的区域。
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公开(公告)号：CN111650818B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202010477970.6
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种曝光装置、平面显示器的制造方法、组件制造方法、及曝光方法，其中，液晶曝光装置经由投影光学系统(16)以照明光使基板(P)曝光，其具备：保持基板(P)的基板保持具(34)、包含读头单元(60)与标尺(52、56)并根据读头单元(60)的输出取得基板保持具(34)的位置信息的基板编码器系统(50)、以及使基板保持具(34)上的读头单元(60)与标尺(52)中的一方相对于另一方相对移动的驱动部。
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公开(公告)号：CN107005638B
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN201580064891.X
申请日：2015-09-30
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 一种电子设备，其包括：使显示部显示第一图像和第二图像的显示控制部，所述第一图像是拍摄入射到拍摄元件的第一区域的光而生成的，所述第二图像是拍摄入射到所述拍摄元件的与所述第一区域不同的第二区域的光而生成的；和选择部，根据所述显示部所显示的所述第一图像和所述第二图像，选择所述第一区域和所述第二区域中要改变拍摄条件的区域。
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公开(公告)号：CN107005638A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580064891.X
申请日：2015-09-30
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: H04N5/23216 , G03B17/18 , H04N5/225 , H04N5/232 , H04N5/23222 , H04N5/23293 , H04N5/374
Abstract: 一种电子设备，其包括：使显示部显示第一图像和第二图像的显示控制部，所述第一图像是拍摄入射到拍摄元件的第一区域的光而生成的，所述第二图像是拍摄入射到所述拍摄元件的与所述第一区域不同的第二区域的光而生成的；和选择部，根据所述显示部所显示的所述第一图像和所述第二图像，选择所述第一区域和所述第二区域中要改变拍摄条件的区域。
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