公开(公告)号：CN113267964A

公开(公告)日：2021-08-17

申请号：CN202110570852.4

申请日：2016-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 下山隆司

IPC: G03F7/20 ,  G02F1/13

Abstract: 液晶曝光装置，设有保持基板(P)之基板保持具(34)，具备测量系，该测量系具有在X轴方向彼此分离配置之多个标尺(52)、对标尺照射测量光束且能在Y轴方向移动之多个读头(66x,66y)、以及测量多个读头在Y轴方向之位置信息之测量装置，根据至少三个读头之测量信息与前述测量装置之测量信息，测量基板保持具在水平面内3自由度方向之位置信息，多个读头，在基板保持具往X轴方向之移动中从多个标尺中之一个脱离且移至与该一个标尺相邻之另一标尺，将使用该移转之读头以控制基板保持具之移动之修正信息，根据至少三个读头之测量信息来取得。

公开(公告)号：CN113267964B

公开(公告)日：2023-05-23

申请号：CN202110570852.4

申请日：2016-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 下山隆司

IPC: G03F7/20 ,  G02F1/13

Abstract: 液晶曝光装置，设有保持基板(P)之基板保持具(34)，具备测量系统，该测量系统具有在X轴方向彼此分离配置之多个标尺(52)、对标尺照射测量光束且能在Y轴方向移动之多个读头(66x,66y)、以及测量多个读头在Y轴方向之位置信息之测量装置，根据至少三个读头之测量信息与前述测量装置之测量信息，测量基板保持具在水平面内3自由度方向之位置信息，多个读头，在基板保持具往X轴方向之移动中从多个标尺中之一个脱离且移至与该一个标尺相邻之另一标尺，将使用该移转之读头以控制基板保持具之移动之修正信息，根据至少三个读头之测量信息来取得。

公开(公告)号：CN108139689A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680057223.9

申请日：2016-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 下山隆司

IPC: G03F7/23 ,  G03F7/20 ,  H01L21/68

CPC classification number: G03F7/20 ,  H01L21/68

Abstract: 液晶曝光装置，设有保持基板(P)之基板保持具(34)，具备测量系，该测量系具有在X轴方向彼此分离配置之多个标尺(52)、对标尺照射测量光束且能在Y轴方向移动之多个读头(66x,66y)、以及测量多个读头在Y轴方向之位置信息之测量装置，根据至少三个读头之测量信息与前述测量装置之测量信息，测量基板保持具在水平面内3自由度方向之位置信息，多个读头，在基板保持具往X轴方向之移动中从多个标尺中之一个脱离且移至与该一个标尺相邻之另一标尺，将使用该移转之读头读头以控制基板保持具之移动之修正信息，根据至少三个读头之测量信息来取得。

公开(公告)号：CN108139688A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680057221.X

申请日：2016-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  原笃史 ,  下山隆司 ,  川口透 ,  岛竹克大 ,  野田伊织

IPC: G03F7/22 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种液晶曝光装置，经由投影光学系统(16)以照明光使基板(P)曝光，其具备：保持基板(P)的基板保持具(34)、包含读头单元(60)与标尺(52、56)并根据读头单元(60)的输出取得基板保持具(34)的位置信息的基板编码器系统(50)、以及使基板保持具(34)上的读头单元(60)与标尺(52)中的一方相对于另一方相对移动的驱动部。

公开(公告)号：CN111650818B

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN202010477970.6

申请日：2016-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  原笃史 ,  下山隆司 ,  川口透 ,  岛竹克大 ,  野田伊织

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种曝光装置、平面显示器的制造方法、组件制造方法、及曝光方法，其中，液晶曝光装置经由投影光学系统(16)以照明光使基板(P)曝光，其具备：保持基板(P)的基板保持具(34)、包含读头单元(60)与标尺(52、56)并根据读头单元(60)的输出取得基板保持具(34)的位置信息的基板编码器系统(50)、以及使基板保持具(34)上的读头单元(60)与标尺(52)中的一方相对于另一方相对移动的驱动部。

公开(公告)号：CN108139689B

公开(公告)日：2021-06-15

申请号：CN201680057223.9

申请日：2016-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 下山隆司

IPC: G03F7/23 ,  G03F7/20 ,  H01L21/68

Abstract: 液晶曝光装置，设有保持基板(P)之基板保持具(34)，具备测量系统，该测量系统具有在X轴方向彼此分离配置之多个标尺(52)、对标尺照射测量光束且能在Y轴方向移动之多个读头(66x,66y)、以及测量多个读头在Y轴方向之位置信息之测量装置，根据至少三个读头之测量信息与前述测量装置之测量信息，测量基板保持具在水平面内3自由度方向之位置信息，多个读头，在基板保持具往X轴方向之移动中从多个标尺中之一个脱离且移至与该一个标尺相邻之另一标尺，将使用该移转之读头读头以控制基板保持具之移动之修正信息，根据至少三个读头之测量信息来取得。