公开(公告)号：CN108139688A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680057221.X

申请日：2016-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  原笃史 ,  下山隆司 ,  川口透 ,  岛竹克大 ,  野田伊织

IPC: G03F7/22 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种液晶曝光装置，经由投影光学系统(16)以照明光使基板(P)曝光，其具备：保持基板(P)的基板保持具(34)、包含读头单元(60)与标尺(52、56)并根据读头单元(60)的输出取得基板保持具(34)的位置信息的基板编码器系统(50)、以及使基板保持具(34)上的读头单元(60)与标尺(52)中的一方相对于另一方相对移动的驱动部。

公开(公告)号：CN111650818B

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN202010477970.6

申请日：2016-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  原笃史 ,  下山隆司 ,  川口透 ,  岛竹克大 ,  野田伊织

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种曝光装置、平面显示器的制造方法、组件制造方法、及曝光方法，其中，液晶曝光装置经由投影光学系统(16)以照明光使基板(P)曝光，其具备：保持基板(P)的基板保持具(34)、包含读头单元(60)与标尺(52、56)并根据读头单元(60)的输出取得基板保持具(34)的位置信息的基板编码器系统(50)、以及使基板保持具(34)上的读头单元(60)与标尺(52)中的一方相对于另一方相对移动的驱动部。