公开(公告)号：CN102712436A

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN201080060044.3

申请日：2010-12-28

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 水谷英夫 ,  木内徹 ,  川口透 ,  增川孝志

IPC: B65H75/14 ,  H01L21/673 ,  B65H18/02

CPC classification number: H01L21/67126 ,  B65H75/28 ,  B65H75/285 ,  B65H2405/421 ,  B65H2601/25 ,  H01L21/67363

Abstract: 基板盒，包括：轴部，卷绕有片状基板，该片状基板具有经电路生成处理后的电路区域；以及罩部，用以收容卷绕于该轴部的状态的基板；轴部，具有保持基板的开始卷绕的一端部中与电路区域不同的区域的保持部。

公开(公告)号：CN111650818B

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN202010477970.6

申请日：2016-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  原笃史 ,  下山隆司 ,  川口透 ,  岛竹克大 ,  野田伊织

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种曝光装置、平面显示器的制造方法、组件制造方法、及曝光方法，其中，液晶曝光装置经由投影光学系统(16)以照明光使基板(P)曝光，其具备：保持基板(P)的基板保持具(34)、包含读头单元(60)与标尺(52、56)并根据读头单元(60)的输出取得基板保持具(34)的位置信息的基板编码器系统(50)、以及使基板保持具(34)上的读头单元(60)与标尺(52)中的一方相对于另一方相对移动的驱动部。

公开(公告)号：CN102712436B

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201080060044.3

申请日：2010-12-28

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 水谷英夫 ,  木内徹 ,  川口透 ,  增川孝志

IPC: B65H75/14 ,  H01L21/673 ,  B65H18/02

CPC classification number: H01L21/67126 ,  B65H75/28 ,  B65H75/285 ,  B65H2405/421 ,  B65H2601/25 ,  H01L21/67363

Abstract: 基板盒，包括：轴部，卷绕有片状基板，该片状基板具有经电路生成处理后的电路区域；以及罩部，用以收容卷绕于该轴部的状态的基板；轴部，具有保持基板的开始卷绕的一端部中与电路区域不同的区域的保持部。

公开(公告)号：CN108139688A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680057221.X

申请日：2016-09-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  原笃史 ,  下山隆司 ,  川口透 ,  岛竹克大 ,  野田伊织

IPC: G03F7/22 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种液晶曝光装置，经由投影光学系统(16)以照明光使基板(P)曝光，其具备：保持基板(P)的基板保持具(34)、包含读头单元(60)与标尺(52、56)并根据读头单元(60)的输出取得基板保持具(34)的位置信息的基板编码器系统(50)、以及使基板保持具(34)上的读头单元(60)与标尺(52)中的一方相对于另一方相对移动的驱动部。