公开(公告)号：CN102859318B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201180020970.2

申请日：2011-04-26

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 伊藤由佳 ,  藤泽晴彦

IPC: G01B11/25

CPC classification number: G01B11/25 ,  G01B9/02055 ,  G01B11/2518 ,  G01B21/20

Abstract: 本发明涉及缩减因振动影响而造成的3D轮廓的测量误差的轮廓测量装置。轮廓测量装置设置有轮廓测量单元、位置获取单元、轮廓计算单元、偏斜检测单元、以及控制器单元。该轮廓测量单元具有用于将图案投影到被测量物体上的投影单元、和将该图案成像的成像单元。该位置获取单元获取该图案在被测量物体上的位置。该轮廓计算单元基于来自成像单元的图像信息和来自位置获取单元的位置信息来计算被测量物体的轮廓。该偏斜检测单元检测投影单元的偏斜。该控制单元基于由偏斜检测单元检测到的投影单元的偏斜，来执行对轮廓测量单元的主动修正和/或对轮廓计算单元的被动修正。

公开(公告)号：CN102859318A

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN201180020970.2

申请日：2011-04-26

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 伊藤由佳 ,  藤泽晴彦

IPC: G01B11/25

CPC classification number: G01B11/25 ,  G01B9/02055 ,  G01B11/2518 ,  G01B21/20

Abstract: 本发明涉及缩减因振动影响而造成的3D轮廓的测量误差的轮廓测量装置。轮廓测量装置设置有轮廓测量单元、位置获取单元、轮廓计算单元、偏斜检测单元、以及控制器单元。该轮廓测量单元具有用于将图案投影到被测量物体上的投影单元、和将该图案成像的成像单元。该位置获取单元获取该图案在被测量物体上的位置。该轮廓计算单元基于来自成像单元的图像信息和来自位置获取单元的位置信息来计算被测量物体的轮廓。该偏斜检测单元检测投影单元的偏斜。该控制单元基于由偏斜检测单元检测到的投影单元的偏斜，来执行对轮廓测量单元的主动修正和/或对轮廓计算单元的被动修正。

公开(公告)号：CN102203590A

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：CN200980143980.8

申请日：2009-11-02

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 深泽和彦 ,  湊和春 ,  藤泽晴彦

IPC: G01N21/956

CPC classification number: G01N21/95607 ,  G01N21/4788 ,  G01N21/9501

Abstract: 表面检查装置(1)，具备：载台(10)，用以支承晶圆(W)；照明系统(20)，对载台(10)所支承的晶圆(W)的表面照射紫外光；受光系统(30)，使来自晶圆(W)表面的光成像于既定摄影面上；摄影机部(34)，拍摄通过受光系统(30)成像于摄影面上的晶圆(W)的像；像素补足驱动部(35)，用以进行像素补足；控制部(40)，控制像素补足驱动部(35)及摄影机部(34)的作动，据以一边使像素补足驱动部(35)进行像素补足，一边使摄影机部(34)拍摄多个晶圆(W)的像；以及影像处理部(45)，产生晶圆(W)的合成影像，该合成影像，对应像素补足的顺序将摄影机部(34)所拍摄的多个影像的各像素排列合成。