公开(公告)号：CN102203590A

公开(公告)日：2011-09-28

申请号：CN200980143980.8

申请日：2009-11-02

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 深泽和彦 ,  湊和春 ,  藤泽晴彦

IPC: G01N21/956

CPC classification number: G01N21/95607 ,  G01N21/4788 ,  G01N21/9501

Abstract: 表面检查装置(1)，具备：载台(10)，用以支承晶圆(W)；照明系统(20)，对载台(10)所支承的晶圆(W)的表面照射紫外光；受光系统(30)，使来自晶圆(W)表面的光成像于既定摄影面上；摄影机部(34)，拍摄通过受光系统(30)成像于摄影面上的晶圆(W)的像；像素补足驱动部(35)，用以进行像素补足；控制部(40)，控制像素补足驱动部(35)及摄影机部(34)的作动，据以一边使像素补足驱动部(35)进行像素补足，一边使摄影机部(34)拍摄多个晶圆(W)的像；以及影像处理部(45)，产生晶圆(W)的合成影像，该合成影像，对应像素补足的顺序将摄影机部(34)所拍摄的多个影像的各像素排列合成。