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公开(公告)号：CN111788534A
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201980008651.6
申请日：2019-02-15
Applicant: 株式会社富士金
Inventor： 杉田胜幸 , 西野功二 , 安本直史 , 平田薰 , 小川慎也 , 并手口圭佑
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种流量控制装置(100)，其具备：设置于流路(1)的控制阀(6)；对通过控制阀(6)控制的流体的流量进行测定的流量测定部(2、3)；以及控制器(7)，控制器(7)构成为：对控制阀(6)的开闭动作进行控制，使得基于从流量测定部输出的信号的测定积分流量((Vn+Vd))与目标积分流量(Vs)一致。
