公开(公告)号：CN102832156A

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：CN201210058529.X

申请日：2012-03-07

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 古田诚 ,  仲子透 ,  山崎哲也

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  B25J9/16

CPC classification number: H01L21/67766 ,  B65G49/061 ,  B65G49/064 ,  B65G49/067 ,  B65G49/068 ,  H01L21/67778

Abstract: 本发明涉及一种基板传送手和包括基板传送手的基板传送装置。一种用于相对于盒装卸基板并传送所述基板的基板传送手包括第一从动辊，该第一从动辊构造成当所述手沿着基板装卸方向联接到所述盒时借助设置在所述盒中的驱动机构而旋转。所述基板传送手还包括：平坦的支承杆，该支承杆构造成联接到所述盒；第二从动辊，该第二从动辊设置在所述支承杆中；以及旋转传递单元，该旋转传递单元用于将所述第一从动辊的旋转传递到所述第二从动辊，使得所述第二从动辊与所述第一从动辊沿相同的方向旋转。

公开(公告)号：CN102468204A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201110340266.7

申请日：2011-11-01

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 古田诚 ,  仲子透 ,  山崎哲也

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  B65G47/91

CPC classification number: H01L21/6838 ,  B25J15/0616 ,  B65G47/918 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/6875

Abstract: 本发明提供一种基板搬送用手及具有该基板搬送用手的基板搬送装置，所述基板搬送用手的吸附部(3)包括吸盘(5)和弹性部件(8)，所述吸盘(5)与基板(2)接触并吸附基板(2)，所述弹性部件(8)被设置在叉(1)与吸盘(5)之间，并具有吸附流路(7)，所述吸附流路(7)使吸附用流体(6)在叉(1)与吸盘(5)之间连通，所述基板搬送用手的吸附部(3)构成为能够通过使弹性部件(8)的一部分变形来改变吸盘(5)相对于叉(1)的突起量(9)。