公开(公告)号：CN110895383A

公开(公告)日：2020-03-20

申请号：CN201910862591.6

申请日：2019-09-12

Applicant: 株式会社大赛璐

Inventor： 江口明良 ,  上原和浩 ,  丸山孝

IPC: G03F7/039 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  C07D307/33 ,  C07D307/935

Abstract: 本发明的目的在于提供在形成耐溶胀性优异的光致抗蚀剂用树脂时有用的单体。本发明的光致抗蚀剂用树脂包含下述式(Y)所示的聚合单元，(式(Y)中，RX表示卤原子或被卤原子取代的碳原子数为1～6的烷基，A1表示单键或连接基团，当A1表示连接基团时，A1和RX1任选相互键合而形成环，RX1表示氢原子、碳原子数为1～6的烷基、或碳原子数为2～6的烯基，n表示0～5的整数，当n为2以上时，RX1任选相同或不同，任选相互键合而形成环，m表示1～4的整数)。

公开(公告)号：CN111918893A

公开(公告)日：2020-11-10

申请号：CN201980020276.7

申请日：2019-01-31

Applicant: 株式会社大赛璐

Inventor： 伊藤昭德 ,  江口明良

IPC: C08F220/18 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供相对于溶剂的溶解性高的光致抗蚀剂用树脂及其制造方法。并提供含有上述光致抗蚀剂用树脂的光致抗蚀剂用树脂组合物、及使用了该光致抗蚀剂用树脂组合物的图案形成方法。上述光致抗蚀剂用树脂在树脂末端不包含氰基，并且分子量分布(Mw/Mn)为1.4以下。

公开(公告)号：CN114206954A

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202080055728.8

申请日：2020-06-18

Applicant: 株式会社大赛璐

Inventor： 江口明良 ,  上原和浩 ,  古川正义 ,  丸山孝

IPC: C08F120/36 ,  C08F220/32 ,  C08F220/18 ,  G03F7/004 ,  G03F7/16 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种提高在有机溶剂中的溶解性、水解性、水解后在水中的溶解性，并且对树脂赋予更高的耐热性的单体。一种光致抗蚀剂用树脂，该光致抗蚀剂用树脂包含下述式(Y)所示的聚合单元[式中，Rh表示卤素原子或具有卤素原子的碳原子数1～6的烷基。R1是与环键合的取代基，表示卤素原子、任选地具有卤素原子的碳原子数1～6的烷基、羟基部分任选地被保护基团保护且任选地具有卤素原子的碳原子数1～6的羟基烷基、任选地形成盐的羧基、或取代氧基羰基。A表示碳原子数1～6的亚烷基、氧原子、硫原子、或未键合。m为R1的个数，表示0～8的整数。X表示吸电子取代基，n为X的个数，表示1～9的整数。B表示单键或连接基团。与聚合物链键合的COOB‑基的立体位置任选地为内型、外型之一。]。

公开(公告)号：CN104379617A

公开(公告)日：2015-02-25

申请号：CN201380029608.0

申请日：2013-06-17

Applicant: 株式会社大赛璐

Inventor： 西村政通 ,  江口明良 ,  大野充

IPC: C08F220/28 ,  C08F220/18 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0392 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  C08F220/38 ,  C08F222/14 ,  C08F222/22 ,  C08F2220/382 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0397 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/0274 ,  C08F2220/283 ,  C08F2220/281 ,  C08F2220/1841 ,  C08F220/36 ,  C08F2220/302

Abstract: 本发明提供一种灵敏度、分辨率优异，线边缘粗糙度小，可以精确地形成微细图案，可降低显影缺陷的产生的高分子化合物。本发明的高分子化合物至少包含下述式(a)所示的单体单元a、及含有具有极性基团的脂环式骨架的单体单元b。作为所述单体单元b的极性基团，优选选自-O-、-C(＝O)-、-C(＝O)-O-、-O-C(＝O)-O-、-C(＝O)-O-C(＝O)-、-C(＝O)-NH-、-S(＝O)-O-、-S(＝O)2-O-、-ORa、-C(＝O)-ORa(Ra为任选具有取代基的烷基)、及-CN中的至少1种基团。

公开(公告)号：CN114206954B

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202080055728.8

申请日：2020-06-18

Applicant: 株式会社大赛璐

Inventor： 江口明良 ,  上原和浩 ,  古川正义 ,  丸山孝

IPC: C08F120/36 ,  C08F220/32 ,  C08F220/18 ,  G03F7/004 ,  G03F7/16 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提供一种提高在有机溶剂中的溶解性、水解性、水解后在水中的溶解性，并且对树脂赋予更高的耐热性的单体。一种光致抗蚀剂用树脂，该光致抗蚀剂用树脂包含下述式(Y)所示的聚合单元#imgabs0#[式中，Rh表示卤素原子或具有卤素原子的碳原子数1～6的烷基。R1是与环键合的取代基，表示卤素原子、任选地具有卤素原子的碳原子数1～6的烷基、羟基部分任选地被保护基团保护且任选地具有卤素原子的碳原子数1～6的羟基烷基、任选地形成盐的羧基、或取代氧基羰基。A表示碳原子数1～6的亚烷基、氧原子、硫原子、或未键合。m为R1的个数，表示0～8的整数。X表示吸电子取代基，n为X的个数，表示1～9的整数。B表示单键或连接基团。与聚合物链键合的COOB‑基的立体位置任选地为内型、外型之一。]。

公开(公告)号：CN114051507A

公开(公告)日：2022-02-15

申请号：CN202080048192.7

申请日：2020-06-18

Applicant: 株式会社大赛璐

Inventor： 伊藤昭德 ,  江口明良

IPC: C08F220/18 ,  C08F220/20 ,  C08F220/28 ,  C08F220/36 ,  G03F7/039 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供一种在抗蚀剂溶剂中的难溶解成分减少，由此发挥高抗蚀性能的树脂及其制造方法。一种光致抗蚀剂用树脂，其包含丙烯酸系树脂，所述光致抗蚀剂用树脂在以树脂固体成分浓度为5重量％的方式溶解于丙二醇单甲醚乙酸酯时，使用平成15年度厚生劳动省告示第261号日本水道协会“上水试验法”所记载的方法测定的聚苯乙烯换算浊度为30以下。