公开(公告)号：CN104379617A

公开(公告)日：2015-02-25

申请号：CN201380029608.0

申请日：2013-06-17

Applicant: 株式会社大赛璐

Inventor： 西村政通 ,  江口明良 ,  大野充

IPC: C08F220/28 ,  C08F220/18 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0392 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  C08F220/38 ,  C08F222/14 ,  C08F222/22 ,  C08F2220/382 ,  G03F7/038 ,  G03F7/0397 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/0274 ,  C08F2220/283 ,  C08F2220/281 ,  C08F2220/1841 ,  C08F220/36 ,  C08F2220/302

Abstract: 本发明提供一种灵敏度、分辨率优异，线边缘粗糙度小，可以精确地形成微细图案，可降低显影缺陷的产生的高分子化合物。本发明的高分子化合物至少包含下述式(a)所示的单体单元a、及含有具有极性基团的脂环式骨架的单体单元b。作为所述单体单元b的极性基团，优选选自-O-、-C(＝O)-、-C(＝O)-O-、-O-C(＝O)-O-、-C(＝O)-O-C(＝O)-、-C(＝O)-NH-、-S(＝O)-O-、-S(＝O)2-O-、-ORa、-C(＝O)-ORa(Ra为任选具有取代基的烷基)、及-CN中的至少1种基团。