容器搬运设备
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107161703B

    公开(公告)日:2020-06-09

    申请号:CN201710131261.0

    申请日:2017-03-07

    发明人: 河村真辅

    摘要: 保管部具备支承容器的第1支承部及第2支承部,构成为第2支承部通过升降能够改变成第1状态和第2状态。非活性气体供给装置在如下高度具备连接部,前述高度为,保管部在第1状态下,连接部被连接于容器,保管部在第2状态下,连接部从容器向下方分离。搬运用移动体具备支承容器的第3支承部和使第3支承部突出退回的突出退回驱动部,第3支承部在借助突出退回驱动部进行突出退回移动时,进入移载用空间,且该第3支承部的移动轨迹在上下方向上观察与连接部重叠。

    物品收纳设备
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107804636B

    公开(公告)日:2021-03-09

    申请号:CN201710805482.1

    申请日:2017-09-08

    IPC分类号: B65G1/00

    摘要: 在物品收纳架(1)的前方形成搬运空间(S1),在物品收纳架(1)处具备将在上下方向上相邻的收纳部(1a)彼此之间间隔的多个上下间隔体,在壁部(43)和多个收纳部(1a)之间形成在上下方向上延伸的流路空间(S2)多个收纳部(1a)的每一个位于流路空间(S2)和搬运空间(S1)之间,连通于流路空间(S2)及搬运空间(S1),供气部(51)具备来自外部的气体流入的流入口(53),并且连通于搬运空间(S1)的上端部及流路空间(S2)的上端部,在供气部(51)具备引导部,前述引导部以搬运空间(S1)内的气压比流路空间(S2)内的气压小的方式,将从流入口(53)流入的气体向流路空间(S2)和搬运空间(S1)引导。

    输送设备
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102543807B

    公开(公告)日:2015-10-28

    申请号:CN201110422930.2

    申请日:2011-12-16

    IPC分类号: H01L21/677 H01L21/67

    CPC分类号: H01L21/67259 H01L21/6773

    摘要: 提供一种在将输送用姿势下的从被保持部到前后方向的一侧的端部的长度不同的多种物品用输送装置输送的情况下能够判别该多种物品的种类的输送设备。输送装置(3)构成为,输送用姿势下的从被保持部(5)到前后方向的一侧的端部(7)的长度不同的多种物品(1、2);设有检测被保持部(5)位于被保持部用设定位置(A)而位于物品用设定位置(B)的物品(1、2)的物品检测机构、检测由物品检测机构检测到的物品的前后方向的一侧的端部(7)的端部检测机构(12)、和基于物品检测机构的检测信息和端部检测机构(12)的检测信息判别物品(1、2)的种类的判别机构。

    流量测定系统
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108398168B

    公开(公告)日:2021-02-19

    申请号:CN201810122409.9

    申请日:2018-02-07

    IPC分类号: G01F15/00

    摘要: 在容器收纳设备中,流量测定系统使用流量测定装置来对净化气体的流量进行测定,该容器收纳设备具备:收纳架,其具有支撑部;搬送装置,其对支撑部搬送容器;以及气体供给装置,其将净化气体供给至由支撑部支撑的容器。搬送装置和流量测定装置以能够通信的状态经由电力线而连接。在搬送装置搬送流量测定装置而将该流量测定装置承载于对象支撑部的状态下,流量测定装置对净化气体的流量进行测定。

    物品保管设备
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104249899B

    公开(公告)日:2018-01-05

    申请号:CN201410287739.5

    申请日:2014-06-25

    IPC分类号: B65G1/04 B65G1/137 H01L21/673

    摘要: 本发明提供一种物品保管设备,其结构简单,并且容易进行区域单位中设置的机器的维护作业。在多个区域用供给部分的每一个中设有第一切换阀,在多个收纳部用供给部分的每一个中设有第二切换阀,将多个泄放路径连接到惰性气体供给路径中的第一切换阀(69)设置位置的气体供给方向的下游且第二切换阀设置位置的气体供给方向的上游侧,在多个泄放路径的每一个中设有区域用泄放切换阀。

    处理设备
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104253069A

    公开(公告)日:2014-12-31

    申请号:CN201410287742.7

    申请日:2014-06-25

    IPC分类号: H01L21/67

    摘要: 本发明的处理设备构成为在由容器支撑体支撑着容器的状态下,容器侧接合面与支撑体侧接合面接合,供给孔或者排出孔与连通孔连通,容器侧接合面是至少连通孔的周围平坦地形成,支撑体侧接合面为随着离开供给孔或者排出孔而逐渐朝向下方的形状。

    保管设备
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104253076B

    公开(公告)日:2019-03-26

    申请号:CN201410287316.3

    申请日:2014-06-25

    IPC分类号: H01L21/677 H01L21/67

    摘要: 本发明实现一种保管设备,能够以简单的构成,抑制排出到保管空间的外部的气体中惰性气体的浓度。保管设备包括:在与外部划分形成的保管空间的内部包括多个收纳部的保管装置;向收纳在收纳部的容器的内部供给惰性气体的惰性气体供给部。保管装置包括气体排出部,将包含从容器排出的气体的保管空间的内部的气体排出到保管空间的外部。气体排出部包括作为限制气体的流量的节流部起作用的节流开口部,节流开口部形成在收纳部的配置区域的下侧。

    流量测定系统
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108398168A

    公开(公告)日:2018-08-14

    申请号:CN201810122409.9

    申请日:2018-02-07

    IPC分类号: G01F15/00

    摘要: 在容器收纳设备中,流量测定系统使用流量测定装置来对净化气体的流量进行测定,该容器收纳设备具备:收纳架,其具有支撑部;搬送装置,其对支撑部搬送容器;以及气体供给装置,其将净化气体供给至由支撑部支撑的容器。搬送装置和流量测定装置以能够通信的状态经由电力线而连接。在搬送装置搬送流量测定装置而将该流量测定装置承载于对象支撑部的状态下,流量测定装置对净化气体的流量进行测定。

    容器搬运设备
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107161703A

    公开(公告)日:2017-09-15

    申请号:CN201710131261.0

    申请日:2017-03-07

    发明人: 河村真辅

    摘要: 保管部具备支承容器的第1支承部及第2支承部,构成为第2支承部通过升降能够改变成第1状态和第2状态。非活性气体供给装置在如下高度具备连接部,前述高度为,保管部在第1状态下,连接部被连接于容器,保管部在第2状态下,连接部从容器向下方分离。搬运用移动体具备支承容器的第3支承部和使第3支承部突出退回的突出退回驱动部,第3支承部在借助突出退回驱动部进行突出退回移动时,进入移载用空间,且该第3支承部的移动轨迹在上下方向上观察与连接部重叠。