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公开(公告)号:CN115404482A
公开(公告)日:2022-11-29
申请号:CN202210579448.8
申请日:2022-05-26
IPC: C23F1/30 , C23F1/44 , H01L21/3213
Abstract: 提供一种蚀刻液组合物及利用其的显示装置的制造方法。一实施例涉及的蚀刻液组合物包括9.0重量%至9.9重量%的无机酸化合物、5.0重量%至10.0重量%的无机盐化合物、35重量%至45重量%的有机酸化合物、10重量%至20重量%的乳酸盐系化合物、0.1重量%至1.0重量%的含氧的氮环型化合物以及用于使整个组合物的总重量成为100重量%的余量的水,上述无机酸化合物的酸解离常数(pKa)值为‑1.0至‑3.0。
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