公开(公告)号：CN102725695A

公开(公告)日：2012-10-10

申请号：CN201080039879.0

申请日：2010-09-14

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 卢孝贞 ,  周东奎 ,  金泫辰 ,  金德倍

IPC: G03F7/09

CPC classification number: G03F7/091 ,  B05D3/02 ,  C07D251/06 ,  C08F283/00 ,  C08G75/00 ,  C08K5/0025 ,  C08K5/42 ,  C09D5/006 ,  G03F7/168 ,  H01L21/0201 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/4757 ,  H01L31/02168 ,  H01L2924/0705 ,  H01L2924/364 ,  C08L81/00

Abstract: 公开了用于形成有机抗反射层的异氰脲酸酯化合物和包括所述异氰脲酸酯化合物的组合物，所述抗反射层在高温(25℃或更高)下具有优异的稳定性、优异的蚀刻速率以及高折射率。所述用于形成有机抗反射层的异氰脲酸酯化合物由权利要求1的通式1所表示。在通式1中，R各自独立地为氢或甲基，R1各自独立地为具有1至15个碳原子且包含0至6个杂原子的脂肪族或环状的饱和或不饱和烃，并且R2各自独立地为具有1至15个碳原子且包含0至15个杂原子的脂肪族或环状的饱和或不饱和烃。

公开(公告)号：CN102725695B

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201080039879.0

申请日：2010-09-14

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 卢孝贞 ,  周东奎 ,  金泫辰 ,  金德倍

IPC: G03F7/09

CPC classification number: G03F7/091 ,  B05D3/02 ,  C07D251/06 ,  C08F283/00 ,  C08G75/00 ,  C08K5/0025 ,  C08K5/42 ,  C09D5/006 ,  G03F7/168 ,  H01L21/0201 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/4757 ,  H01L31/02168 ,  H01L2924/0705 ,  H01L2924/364 ,  C08L81/00

Abstract: 公开了用于形成有机抗反射层的异氰脲酸酯化合物和包括所述异氰脲酸酯化合物的组合物，所述抗反射层在高温(25℃或更高)下具有优异的稳定性、优异的蚀刻速率以及高折射率。所述用于形成有机抗反射层的异氰脲酸酯化合物由权利要求1的通式1所表示。在通式1中，R各自独立地为氢或甲基，R1各自独立地为具有1至15个碳原子且包含0至6个杂原子的脂肪族或环状的饱和或不饱和烃，并且R2各自独立地为具有1至15个碳原子且包含0至15个杂原子的脂肪族或环状的饱和或不饱和烃。