公开(公告)号：CN102789126A

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN201210053889.0

申请日：2012-03-02

申请人： 株式会社东芝

发明人： 奥田健太郎 ,  冈本阳介 ,  桥本隆希 ,  佐藤英典

IPC分类号： G03F1/44

CPC分类号： G03F1/42 ,  G03F1/26 ,  G03F1/44

摘要： 本发明的后述的实施方式涉及光掩模及其制造方法。光掩模具备：基板；膜部，设置在上述基板的表面上，具有比上述基板的光透射率低的光透射率；图案，设置在上述膜部表面上，被转印到被转印体上；以及检测标记，在上述膜部上设置有多个，透射光的强度被抑制，以便抑制向上述被转印体的转印。

公开(公告)号：CN102789126B

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201210053889.0

申请日：2012-03-02

申请人： 株式会社东芝

发明人： 奥田健太郎 ,  冈本阳介 ,  桥本隆希 ,  佐藤英典

IPC分类号： G03F1/44

CPC分类号： G03F1/42 ,  G03F1/26 ,  G03F1/44

摘要： 本发明的后述的实施方式涉及光掩模及其制造方法。光掩模具备：基板；膜部，设置在上述基板的表面上，具有比上述基板的光透射率低的光透射率；图案，设置在上述膜部表面上，被转印到被转印体上；以及检测标记，在上述膜部上设置有多个，透射光的强度被抑制，以便抑制向上述被转印体的转印。

公开(公告)号：CN101140365B

公开(公告)日：2011-02-16

申请号：CN200710153625.1

申请日：2007-09-07

申请人： 株式会社东芝

发明人： 谷崎广幸 ,  丰嶋直穂子 ,  冈本阳介 ,  高濑康徳

IPC分类号： G02F1/13 ,  G01J1/00

CPC分类号： G06T7/0004

摘要： 本发明提供一种能够得到与检查员的官能检查结果相近的结果的不均匀检查方法、使用该不均匀检查方法的显示面板的制造方法、以及不均匀检查装置。在检查面板材料中有无不均匀的不均匀检查方法中，按照多个水平的条件拍摄作为检查对象的面板材料(步骤S1)，从该拍摄结果中取得多张一次图像(步骤S2)，对这些一次图像实施强调图像变化的处理，生成多张二次图像(步骤S3)，按照规定的加权合成这些二次图像，生成合成图像(步骤S4)，根据该合成图像来判定有无不均匀(步骤S5)。而且，将规定的加权决定成，使得在针对产生不均匀的示范用的面板材料生成二次图像、合成这些二次图像而生成了合成图像时，可以区分产生不均匀的区域及其以外的区域。

公开(公告)号：CN101140365A

公开(公告)日：2008-03-12

申请号：CN200710153625.1

申请日：2007-09-07

申请人： 株式会社东芝

发明人： 谷崎广幸 ,  丰嶋直穂子 ,  冈本阳介 ,  高濑康徳

IPC分类号： G02F1/13 ,  G01J1/00

CPC分类号： G06T7/0004

摘要： 本发明提供一种能够得到与检查员的官能检查结果相近的结果的不均匀检查方法、使用该不均匀检查方法的显示面板的制造方法、以及不均匀检查装置。在检查面板材料中有无不均匀的不均匀检查方法中，按照多个水平的条件拍摄作为检查对象的面板材料(步骤S1)，从该拍摄结果中取得多张一次图像(步骤S2)，对这些一次图像实施强调图像变化的处理，生成多张二次图像(步骤S3)，按照规定的加权合成这些二次图像，生成合成图像(步骤S4)，根据该合成图像来判定有无不均匀(步骤S5)。而且，将规定的加权决定成，使得在针对产生不均匀的示范用的面板材料生成二次图像、合成这些二次图像而生成了合成图像时，可以区分产生不均匀的区域及其以外的区域。