公开(公告)号：CN116803609A

公开(公告)日：2023-09-26

申请号：CN202310217520.7

申请日：2023-03-08

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 间濑文雄 ,  金泽雅喜

IPC: B24B27/00 ,  B24B41/02 ,  B24B41/06 ,  B24B41/00 ,  B24B41/04

Abstract: 本申请提供一种加工装置，可降低粗磨削的影响而进行精磨削，以高精度加工工件。一种加工装置(1)，其具有：分度工作台(2)，具备用于吸附保持工件(W)的多个卡盘(22)，该分度工作台(2)按照下述顺序输送工件(W)，该顺序为，用于对工件(W)进行粗磨削的粗磨削机构(5)所设置的粗磨削台(S2)、用于对工件(W)进行中磨削的中磨削机构(6)所设置的中磨削台(S3)、用于对工件(W)进行精磨削的精磨削机构(7)所设置的精磨削台(S4)；第一立柱(31)，该第一立柱(31)设置成横跨分度工作台(2)的上部，由粗磨削机构(5)或精磨削机构(7)中的一者所设置；第二立柱(32)，该第二立柱(32)由中间磨削装置(6)所设置，粗磨削机构(5)和精磨削机构(7)中的另一者与该中磨削装置(6)并列设置。

公开(公告)号：CN116810627A

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN202310215231.3

申请日：2023-03-06

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 间濑文雄

IPC: B24B41/06 ,  B24B37/30 ,  B24B37/34 ,  B24B55/02

Abstract: 提供一种圆晶加工装置，其形成下述的结构：通过抑制对卡盘和卡盘基座进行固定的固定螺钉的热膨胀，能够减少轴向力变化而高精度地进行加工。该圆晶加工装置包括：恒温冷却水源(23)，该恒温冷却水源(23)对卡盘台(12)供给恒温冷却水而将卡盘(15)保持为大致恒温；以及环状的罩(27)，该环状的罩(27)以至少覆盖卡盘(15)的外周侧面整体的方式设置，将从卡盘台(12)的外周侧面排出的恒温冷却水储存在该环状的罩(27)与卡盘台(12)的外周侧面之间，供给至固定螺钉(17)侧。