公开(公告)号：CN116895593A

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN202310317534.6

申请日：2023-03-27

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 筱原大也 ,  清水翼

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供在直接搬运方式中即使在保持刚性较低的工件的情况下也能够稳定且可靠地保持工件的保持装置以及搬运装置。保持装置(10)具备垫(12)、垫支承体(14)、以及与垫(12)连通并在垫(12)与工件(100)之间产生负压的吸引路(40)，垫(12)具有相对于垫支承体(14)固定的固定区域(12a)以及未相对于垫支承体(14)固定且能够发生挠性变形的非固定区域(12b)。搬运装置(70)具备多个保持装置(10)，并搬运由多个保持装置(10)保持的工件(100)。

公开(公告)号：CN118720852A

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202410374514.7

申请日：2024-03-28

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 筱原大也 ,  清水翼

IPC: B23Q17/09 ,  B23Q11/10

Abstract: 本发明提供能够实现相对于相互关联的多个温度要因的变化的加工状态的检测的加工状态检测装置和方法、程序、切割装置及学习模型生成方法。加工状态检测装置(140)取得环境温度履历、刀片供给水温度履历及发热体供给水温度履历(150)，导出环境温度履历特征量、刀片供给水温度履历特征量及发热体供给水温度履历特征量(152)，在基于包括环境温度履历特征量、刀片供给水温度履历特征量及发热体供给水温度履历特征量在内的温度履历特征量对加工误差进行预测时(154)，应用在输入温度履历特征量时输出加工误差的预测值的学习模型(158)，该学习模型是以温度履历特征量和加工误差作为学习数据进行学习而得到的学习完毕的学习模型。

公开(公告)号：CN118658804A

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202410279498.3

申请日：2024-03-12

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 筱原大也 ,  清水翼

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683

Abstract: 提供具备能够稳定且可靠地保持并搬运刚性低的工件的搬运装置的工件加工装置。具备：存放部(12)，其供在背面粘贴切割带(204)而成工件(200)存放；载置部(14)，其供工件(200)暂时载置；加工部(16)，其对工件(200)进行加工；清洗部(18)，其对工件(200)进行清洗；以及搬运装置(20)，其沿着存放部(12)、载置部(14)、加工部(16)及清洗部(18)之间的各搬运路径搬运工件(200)，搬运装置(20)具有保持装置(104、106、108)，该保持装置包括：衬垫(132)，其能够与工件(200)的表面抵接；衬垫支承体(134)，其固定于除了衬垫(132)的周围之外的衬垫(132)的中央部；以及吸引泵(136)，其在衬垫(132)与工件(200)之间作用负压。