公开(公告)号：CN118661070A

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202380020586.5

申请日：2023-02-01

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 川田善之 ,  森山克文 ,  森井秀树

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02055

Abstract: 本发明的第一目的在于提供能够与设置环境温度无关地以低成本使测定光路长度与参照光路长度高精度地一致的三维形状测定装置以及三维形状测定装置的参照面位置调整方法，第二目的在于提供能够切换基于WLI方式的被测定面的三维形状测定与基于FV方式的被测定面的三维形状测定的三维形状测定装置以及三维形状测定装置的测定模式切换方法。为了达成第一目的，具备根据温度变化而使参照光路长度变化的保持件(24)以及将保持件(24)的温度调整为目标温度的温度调整部(26)。为了达成第二目的，具备调整保持件(24)的温度的温度调整部(26)以及控制温度调整部(26)而能够选择性地切换为使参照光路长度与测定光路长度一致的第一测定模式以及与测定光路长度不同的第二测定模式的温度控制部(100)。

公开(公告)号：CN118742783A

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202380020583.1

申请日：2023-02-01

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 川田善之 ,  森山克文 ,  森井秀树

IPC: G01B11/24

Abstract: 提供能够抑制由在测定时产生的振动带来的影响而提高测定精度的表面形状测定装置及表面形状测定方法。表面形状测定装置使光学头一边相对于测定对象物沿垂直方向进行相对扫描一边取得测定对象物的观察图像，表面形状测定装置具备：相机，其拍摄由光学头取得的观察图像；驱动部，其使光学头相对于测定对象物沿垂直的扫描方向进行相对扫描；编码器，其用于检测光学头相对于测定对象物的扫描方向位置；拍摄指令部，其基于从编码器每隔规定间隔输出的位置信号来对相机指示观察图像的拍摄；丢帧发生率算出部，其算出表示相机的丢帧的发生率的丢帧发生率；以及测定条件设定部，其基于丢帧发生率，来设定用于测定测定对象物的表面形状的测定条件。

公开(公告)号：CN118679359A

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN202380020581.2

申请日：2023-02-01

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 川田善之 ,  森山克文 ,  森井秀树

IPC: G01B9/02055 ,  G01B9/04 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明提供能够容易地实施白色干涉显微镜的调整的形状测定装置的调整方法。一种形状测定装置的调整方法，所述形状测定装置将来自光源的光作为测定光与参照光分别向调整用母版与参照面照射，并使用由调整用母版以及参照面分别反射了的测定光以及参照光的合波光对测定对象物的被测定面的形状进行测定，其中，所述形状测定装置的调整方法包括：在对焦位置与干涉位置吻合的调整完毕状态下测定调整用母版，将表示对焦位置与干涉位置的吻合度的吻合度参数作为调整时吻合度参数算出并保存的步骤；以及在进行测定对象物的测定时，测定调整用母版，算出吻合度参数，并将吻合度参数与调整时吻合度参数比较，从而确认吻合度的步骤。