公开(公告)号：CN107150466B

公开(公告)日：2021-02-23

申请号：CN201710056941.0

申请日：2017-01-25

Applicant: 松下知识产权经营株式会社

Inventor： 本村耕治 ,  西崎展弘 ,  池田浩二 ,  村田崇彦 ,  光岛隆敏

IPC: B32B5/02 ,  B32B7/12 ,  B32B37/12

Abstract: 本发明涉及纤维层叠体及其制造方法。纤维层叠体包括：含有第一纤维的第一纤维片、层叠于该第一纤维片且含有第二纤维的第二纤维片、以及夹设在第一纤维片与第二纤维片之间的粘接剂。粘接剂配置为，在从纤维层叠体的主面的法线方向观察时，在纤维层叠体形成线状的第一区域。第一纤维片与第二纤维片借助该第一区域而粘接。在第一区域以外的第二区域，在第一纤维片与第二纤维片之间形成有间隙。

公开(公告)号：CN104143508B

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201410113648.X

申请日：2014-03-25

Applicant: 松下知识产权经营株式会社

Inventor： 西崎展弘 ,  针贝笃史 ,  岩井哲博 ,  广岛满

IPC: H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/3065 ,  H01J37/32715 ,  H01L21/31138 ,  H01L21/78

Abstract: 本发明提供一种等离子处理装置以及等离子处理方法，使得即使在实施等离子处理的情况下保持片也不会受到不良影响。具备：室(11)；在室(11)内产生等离子的等离子源(13)；设置于室(11)内且载置输送载体(5)的台(16)；配置于台(16)的上方并覆盖保持片(6)和框(7)，在中央部具有在厚度方向上贯通地形成的窗部(33)的盖体(31)；和驱动机构(38)，其将盖体(31)相对于台(16)的相对位置变更为第1位置和第2位置，所述第1位置是离开台(16)且容许输送载体(5)相对于台(16)的装卸的位置，所述第2位置是盖体(31)覆盖在台(16)上载置的输送载体(5)的保持片(6)和框(7)、且所述窗部(33)使保持片(6)所保持的基板(2)露出的位置。盖体(31)的窗部(33)使与基板(2)的外缘区域相比更靠内侧的区域露出。

公开(公告)号：CN107150466A

公开(公告)日：2017-09-12

申请号：CN201710056941.0

申请日：2017-01-25

Applicant: 松下知识产权经营株式会社

Inventor： 本村耕治 ,  西崎展弘 ,  池田浩二 ,  村田崇彦 ,  光岛隆敏

IPC: B32B5/02 ,  B32B7/12 ,  B32B37/12

Abstract: 本发明涉及纤维层叠体及其制造方法。纤维层叠体包括：含有第一纤维的第一纤维片、层叠于该第一纤维片且含有第二纤维的第二纤维片、以及夹设在第一纤维片与第二纤维片之间的粘接剂。粘接剂配置为，在从纤维层叠体的主面的法线方向观察时，在纤维层叠体形成线状的第一区域。第一纤维片与第二纤维片借助该第一区域而粘接。在第一区域以外的第二区域，在第一纤维片与第二纤维片之间形成有间隙。

公开(公告)号：CN104143509B

公开(公告)日：2018-11-09

申请号：CN201410113773.0

申请日：2014-03-25

Applicant: 松下知识产权经营株式会社

Inventor： 西崎展弘 ,  针贝笃史 ,  岩井哲博 ,  广岛满

IPC: H01L21/3065

Abstract: 本发明提供一种等离子处理装置以及等离子处理方法，使得即使在实施等离子处理的情况下保持片也不会受到不良影响。具备：在室(11)内产生等离子的等离子源(13)；设置于室(11)内且载置输送载体(5)的台(16)；配置于台(16)的上方且覆盖保持片(6)和框(7)，具有在厚度方向上贯通地形成的窗部(33)的盖子(31)；和将盖子(31)相对于台(16)的相对位置变更为第1位置和第2位置的驱动机构(38)。第2位置是盖子(31)与保持片(6)、框(7)、以及基板(2)不接触的位置。盖子(31)至少具备向框(7)的上表面延伸的顶面(36b)、和相对于在框(7)的内径侧露出的保持片(6)的上表面逐渐接近地倾斜的倾斜面(36c)。