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公开(公告)号：CN100530735C
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200680004807.6
申请日：2006-02-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/22 , B41J2/16 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/187
CPC classification number: H01L41/257 , H01L41/332 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明公开一种压电元件的制造方法，其在制造工序过程中，避免发生压电薄膜层受到不希望的电场，从而能够保证较高压电特性，此压电元件的制造方法包含：在基板上顺序积层下部电极层、压电薄膜层以及上部电极层的第一工序；以包含干法刻蚀的刻蚀进行刻蚀处理的第二工序；向下部电极层和上部电极层之间施加电压，进行极化处理的第三工序；单片化处理得到各个压电元件的第四工序，至少在进行所述干法刻蚀时，保持下部电极层和上部电极层之间短路。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101529607A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200780040507.8
申请日：2007-11-12
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/09 , G01C19/56 , H01L41/08 , H01L41/187 , H01L41/22
CPC classification number: G01C19/5607 , G01C19/5628 , H01L41/0477 , H01L41/0815 , H01L41/29 , Y10T29/42
Abstract: 一种电子部件及其制造方法，该电子部件具备形成有电极部的元件，电极部具有上部电极(74)、下部电极(72)及密合层(76)，压电体(70)介于上部电极(74)与下部电极(72)之间，密合层(76)层叠于上部电极(74)与压电体(70)之间，压电体(70)具有由含铅的压电材料构成的压电层(80)，密合层(76)具有以钨为主要成分的钨层，通过将压电层(80)和所述钨层层叠而可以抑制温度上升引起的压电常数的下降及基点电压的变化。
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公开(公告)号：CN1930448A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200580007155.7
申请日：2005-02-23
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5628 , G01C19/5621 , Y10T29/42
Abstract: 基板由单晶硅制成且具有音叉形状。所述基板包括多个彼此平行延伸的音叉臂和用于彼此连接所述音叉臂的相应端的连接部分。角速度传感器包括：在所述基板的所述音叉臂中的各音叉臂上提供的含有氧化硅的阻挡层；在所述阻挡层上提供的含有钛的第一粘附层；在所述第一粘附层上提供的含有钛和氧化钛中至少一者的第一电极层；在所述第一电极层上提供的取向控制层；在所述取向控制层上提供的压电层；在所述压电层上提供的第二粘附层；和在所述第二粘附层上提供的第二电极层。这种角速度传感器具有小尺寸和稳定的特性。
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公开(公告)号：CN100585330C
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：CN200580007155.7
申请日：2005-02-23
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5628 , G01C19/5621 , Y10T29/42
Abstract: 基板由单晶硅制成且具有音叉形状。所述基板包括多个彼此平行延伸的音叉臂和用于彼此连接所述音叉臂的相应端的连接部分。角速度传感器包括：在所述基板的所述音叉臂中的各音叉臂上提供的含有氧化硅的阻挡层；在所述阻挡层上提供的含有钛的第一粘附层；在所述第一粘附层上提供的含有钛和氧化钛中至少一者的第一电极层；在所述第一电极层上提供的取向控制层；在所述取向控制层上提供的压电层；在所述压电层上提供的第二粘附层；和在所述第二粘附层上提供的第二电极层。这种角速度传感器具有小尺寸和稳定的特性。
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公开(公告)号：CN101120455A
公开(公告)日：2008-02-06
申请号：CN200680004807.6
申请日：2006-02-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/22 , B41J2/16 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/187
CPC classification number: H01L41/257 , H01L41/332 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明公开一种压电元件的制造方法，其在制造工序过程中，避免发生压电薄膜层受到不希望的电场，从而能够保证较高压电特性，此压电元件的制造方法包含：在基板上顺序积层下部电极层、压电薄膜层以及上部电极层的第一工序；以包含干法刻蚀的刻蚀进行刻蚀处理的第二工序；向下部电极层和上部电极层之间施加电压，进行极化处理的第三工序；单片化处理得到各个压电元件的第四工序，至少在进行所述干法刻蚀时，保持下部电极层和上部电极层之间短路。
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公开(公告)号：CN101529607B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200780040507.8
申请日：2007-11-12
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/09 , G01C19/56 , H01L41/08 , H01L41/187 , H01L41/22
CPC classification number: G01C19/5607 , G01C19/5628 , H01L41/0477 , H01L41/0815 , H01L41/29 , Y10T29/42
Abstract: 一种电子部件及其制造方法，该电子部件具备形成有电极部的元件，电极部具有上部电极(74)、下部电极(72)及密合层(76)，压电体(70)介于上部电极(74)与下部电极(72)之间，密合层(76)层叠于上部电极(74)与压电体(70)之间，压电体(70)具有由含铅的压电材料构成的压电层(80)，密合层(76)具有以钨为主要成分的钨层，通过将压电层(80)和所述钨层层叠而可以抑制温度上升引起的压电常数的下降及基点电压的变化。
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