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公开(公告)号:CN100521177C
公开(公告)日:2009-07-29
申请号:CN200610071051.9
申请日:2006-03-31
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L23/488 , H01L21/48
CPC classification number: H01L2224/32225 , H01L2224/48227 , H01L2224/73265 , H01L2924/01079 , H01L2924/15153 , H01L2924/1517 , H01L2924/16195 , H01L2924/00
Abstract: 提供不预先形成分离槽而制造的同时,实施了为搁置光学部件的方法的光学器件用膜腔构造体、光学器件及光学器件用膜腔构造体的制造方法。光学器件用膜腔构造体(C1),是由绝缘体层(11、13、15)和金属层(12、14、16)相互交错叠层而成,形成了组装于布线衬底的组装面,包括与布线衬底电连接的第一端子部(112)、上表面中央部上具有近似的开口部(2a)的膜腔部(2)、围绕开口部(2a)在上表面形成的搁置透过光学元件芯片(121)接收的光线或发出的光线的透光性构件(124)的透光性构件搁置部(15a)。
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公开(公告)号:CN1848418A
公开(公告)日:2006-10-18
申请号:CN200610071051.9
申请日:2006-03-31
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L23/488 , H01L21/48
CPC classification number: H01L2224/32225 , H01L2224/48227 , H01L2224/73265 , H01L2924/01079 , H01L2924/15153 , H01L2924/1517 , H01L2924/16195 , H01L2924/00
Abstract: 提供不预先形成分离槽而制造的同时,实施了为搁置光学部件的方法的光学器件用膜腔构造体、光学器件及光学器件用膜腔构造体的制造方法。光学器件用膜腔构造体(C1),是由绝缘体层(11、13、15)和金属层(12、14、16)相互交错叠层而成,形成了组装于布线衬底的组装面,包括与布线衬底电连接的第一端子部(112)、上表面中央部上具有近似的开口部(2a)的膜腔部(2)、围绕开口部(2a)在上表面形成的搁置透过光学元件芯片(121)接收的光线或发出的光线的透光性构件(124)的透光性构件搁置部(15a)。
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