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公开(公告)号：CN107357142A
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201710532273.4
申请日：2017-07-03
Applicant: 杭州格林达化学有限公司
IPC: G03F7/42
Abstract: 本发明涉及一种水系光致抗蚀剂剥离液及其制备方法，其组分按重量百分比计，包括:1～20％的烷氧基烷胺，5～50％的质子性溶剂，30～80％的非质子性溶剂，10～30％的水，0.01～1％的添加剂，0.005～0.1％的长碳链脂肪醇。该蚀刻液的制备方法为：按比例依次将烷氧基烷胺，质子性溶剂，非质子性溶剂加入到混配釜中，然后加入添加剂，长碳链脂肪醇和水，搅拌循环后过滤。该剥离液剥离能力强，能有效的去除光致抗蚀剂残留物，可以用于不同金属膜层的工艺，不腐蚀下层金属配线，剥离液使用寿命长，并且对人体和环境无害。
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